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  • 帶有預熱系統(tǒng)的滑動PECVD   OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL

帶有預熱系統(tǒng)的滑動PECVD OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-01-22
  • 廠商性質其他
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量590
  • 人氣值1189
產(chǎn)品標簽

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     壯仕科技有限公司是一家代理、經(jīng)銷國內(nèi)外分析儀器、環(huán)保儀器、生命科學儀器、電化學儀器設備及耗材、實驗室常規(guī)設備、生化試劑耗材以及玻璃儀器的專業(yè)公司。本著“以質量為依托,靠服務求生存”的宗旨,進行科學管理,不僅為客戶提供高品質的分析儀器,更致力于為所有客戶提供完整的解決方案。從度身定制產(chǎn)品,專業(yè)技術支持,到完善的售后服務,令所有的客戶稱心滿意。

       公司人員均是北京各大高校的畢業(yè)生,立足于高校,利用自身日常使用儀器的一些知識為更多用戶提供優(yōu)質的服務。

      

       公司在電化學領域,依托與北京理工大學環(huán)境能源中心,不斷加強與清華大學、北京科技大學、北京化工大學、北京大學、物理所、哈爾濱工業(yè)大學、鼎能開源、有色金屬研究總院、機電研究院等高校及研究所的合作。


      通過與電化學領域的廠家,包括上海辰華(CHI系列電化學產(chǎn)品)、科晶集團(MTI鋰離子電池實驗室加工設備、管式爐、箱式爐、磨拋設備)、武漢藍電(LAND電池測試設備)、PINE旋轉圓盤電極、Arbin電化學測試系統(tǒng)等的合作,不斷為廣大電化學研究者提供面、穎的研究設備和的服務。        

點擊展示更多內(nèi)容
設備名稱帶有預熱系統(tǒng)的滑動PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL(2019
帶有預熱系統(tǒng)的滑動PECVD OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL 產(chǎn)品詳情
設備名稱

帶有預熱系統(tǒng)的滑動PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL (2019.12.11—科晶實驗室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示  2、特殊設備尺寸設備  3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong>  4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點

? 與普通CVD相比較,其沉積溫度大大降低,減少了高溫對薄膜的損壞;

? 可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果;

? 爐體有兩個溫區(qū),可在爐體內(nèi)形成溫度梯度,兩個溫區(qū)溫差為400℃;

? 帶有預熱爐,氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

加熱爐參數(shù)

? 連續(xù)工作溫度為1100℃

? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;兩個溫區(qū)溫差為:400℃

? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設備加熱效率及反射率,同時延長儀器的使用壽命。(點擊圖片查看詳細資料)

? 工作電源:208-240V AC單相,功率:4KW


加熱爐圖1.jpg    溫控儀表.JPG


更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部

預熱爐參數(shù)

? 溫度:1100℃;

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

? 氣體通過等離子射頻電源前,先通過預熱爐,也可將固體和液體原料放在預熱爐中,氣化后與氣體原料相混合


預熱爐圖1.jpg

電動滑軌

? 可將電動滑軌安裝在爐體下端,將爐體滑動,以達到快速升溫和快速降溫的效果

? 滑動速度:0-70 mm/s(可調)

升降溫速率

? RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi),將控溫程序和溫度曲線導入電腦中(儀器中不包含,客戶需額外出費用在本公司購買)

? 為獲得的升溫速率,可將爐體升溫到設定溫度,然后將爐體滑到樣品放置區(qū)


加熱速率

冷卻速率

15°C/sec (RT - 150°C)

15°C/sec (1000 - 950°C)

10°C/sec (150°C - 250°C)

10°C/sec (950°C - 900°C)

7°C/sec (250°C - 350°C)

7°C/sec (900°C - 850°C)

4°C/sec (350°C - 500°C)

4°C/sec (850°C - 750°C)

3°C/sec (350°C - 550°C)

2°C/sec (750°C - 600°C)

2°C/sec (550°C - 650°C)

1.5°C/sec (600°C - 500°C)

1°C/sec (650°C - 800°C)

1°C/sec (500°C - 400°C)

0.5°C/sec (800°C - 1000°C)

0.5°C/sec (400°C - 300°C)

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實驗條件的需求。


 

300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調

(穩(wěn)定性:±1%)

0-100W可調

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動匹配

自動匹配

手動匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風冷

風冷

風冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

300W射頻電源.jpg

500W射頻電源.jpg

100W射頻電源.png



真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達10-2Torr。


真空系統(tǒng).png

供氣系統(tǒng)

? 四通道質子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:

一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm

? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。


四通道質子圖1.jpg  四路質子圖2.png

產(chǎn)品尺寸和重量

? 爐體尺寸:550mm L ′380mm W′520mm H

? 滑軌長度:1750 mm

? 凈重:220 Lbs

認證

? CE認證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證

? 如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證


認證.png

承諾

? 一年質保期,終身維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

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產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
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