氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理
利用真空排氣引起的內(nèi)外壓差,通過(guò)感應(yīng)到的流入工件或從工件流出的氦氣來(lái)檢測(cè)泄漏量。
使用氦氣作為檢漏介質(zhì)原因：
氣體本身無(wú)害，且沒(méi)有危險(xiǎn)
分子小，易從泄漏部位進(jìn)入
空氣中的含量?jī)H為約5 ppm，因此檢測(cè)錯(cuò)誤的可能性極低（空氣中含量約0.007%）
氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)方法
真空噴氦法（噴霧法）
將被測(cè)工件內(nèi)部抽真空，從外部噴射氦氣，檢 測(cè)從泄漏點(diǎn)進(jìn)入的氦氣
用于焊接管道、柔性管、密封接頭等的泄漏試驗(yàn)
真空氦罩法
將待測(cè)工件放入充滿(mǎn)氦氣的塑料袋后抽真空，檢測(cè)從泄漏點(diǎn)進(jìn)入的氦氣
用于質(zhì)量流量控制器等的泄漏試驗(yàn)
真空容器法（真空鐘罩法）
將已充滿(mǎn)氦氣的工件放入真空鐘罩容器或真空容器內(nèi)，抽真空后。
用于滅火器、安全氣囊等的泄漏試驗(yàn)
沉浸法（鋼瓶法）
先用鋼瓶裝置將壓入氦氣被測(cè)的工件放入真空容器內(nèi)，檢測(cè)出因真空差壓而流出的氦氣。
用于氣密小型量產(chǎn)零部件的泄漏試驗(yàn)
吸入法（吸槍法））
因強(qiáng)度或其他原因無(wú)法做真空排氣的工件，可以對(duì)工件內(nèi)部加壓，壓入氦氣（或者氦氣與其他氣體的混合氣體），用探針吸入從泄漏點(diǎn)流出的氦氣來(lái)進(jìn)行檢測(cè)。
用于壓縮機(jī)、熱交換器、冷凝器等的泄漏試驗(yàn)。
并列的泄漏試驗(yàn)
通常用于單容檢漏儀無(wú)法進(jìn)行真空排氣的容積較大的腔體、大型真空設(shè)備的泄漏檢測(cè)。使用這種測(cè)試方法需要安裝干泵、渦輪分子泵等真空泵機(jī)組。
用于真空蒸鍍裝置、吸收式冷凍機(jī)、真空爐等的維護(hù)。
氦質(zhì)譜檢漏儀采用270度偏轉(zhuǎn)方式分析管
分析管偏向角(90°?180°?270°)的不同決定了本底恢復(fù)的性能，同時(shí)實(shí)現(xiàn)高靈敏、高精度的檢測(cè)。
本底高速恢復(fù)，的背景恢復(fù)性能
本氦質(zhì)譜檢漏儀采用的分析管270度偏轉(zhuǎn)方式，能分離、去除干擾源，不受氦以外氣體的影響，即使吸入了大量氦，本底也能快速恢復(fù)。
模擬制造10-5Pa·m3/s命令的泄漏，噴氦五分鐘測(cè)定直至1X10-11Pa·ｍ3/s的本底為止，需要花多長(zhǎng)時(shí)間恢復(fù)？測(cè)試結(jié)果為: 0分56秒
測(cè)試端口氦排氣速度3L/s（50 Pa以下），實(shí)現(xiàn)高速測(cè)定時(shí)間穩(wěn)定性
氦排氣速度較高，有助于本低的快速穩(wěn)定及快速感應(yīng)
在生產(chǎn)線(xiàn)中有助于縮短節(jié)拍時(shí)間
搭載非接觸型構(gòu)造的干式真空泵
搭載無(wú)油/無(wú)塵/三年免維護(hù)的泵
微塵耐性高、本體小，無(wú)塵室
無(wú)需更換油旋轉(zhuǎn)真空泵的油，可防止漏油和排氣煙霧應(yīng)
