FLP系列的特點
低脈動
通過激光位移傳感器和接近開關(guān)不斷監(jiān)控波紋管的位置。泵本身無需任何附加設(shè)備即可減少脈動,因為控制器確定了通過電磁閥左右移動波紋管所需的適當(dāng)相移量。
減少傳感器
不需要外部傳感器,因為波紋管的泵相位控制*取決于設(shè)計中包含的激光和接近傳感器的信號。
高壓力
的波紋管運動增加了持續(xù)的壓力承受能力,在頻繁的負(fù)載變化下,尤其是在單晶片加工中,可保持穩(wěn)定的排放能力和壓力。
安全設(shè)計
焊接的波紋管結(jié)構(gòu)可防止液體泄漏。即使波紋管損壞,內(nèi)置的泄漏傳感器也會檢測并提供反饋,以確保安全操作。