- 概述
- 規(guī)格
- 零件號(hào)
- 附件
- 耗材
- 下載
功能
- 兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量通道,另外四個(gè)可選
- 模擬輸出便于記錄速率/厚度
- 高分辨率選件:0.03 Hz,10 讀數(shù)/秒
- RS-232 標(biāo)準(zhǔn)接口,可選擇連接 USB 或以太網(wǎng)
規(guī)格
類(lèi)型 | SQM-160 Standard Resolution | SQM-160 High Resolution | |
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QCM 傳感器輸入 | Standard: 2; optional: 4 | Standard: 2; optional: 4 | |
測(cè)量頻率范圍 | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum | |
頻率分辨率 (1) | ± 0.30 Hz | ± 0.03 Hz | |
厚度和速率分辨率/測(cè)量 (2) | ± 0.37 ? | ± 0.037 ? | |
測(cè)量周期 | 0.10 to 2.0 s (adjustable) | 0.10 to 2.0 s (adjustable) | |
測(cè)量過(guò)濾器 | 1 to 20 readings | 1 to 20 readings | |
存儲(chǔ)薄膜 | 99 | 99 | |
模擬輸出 | Two 0 to 5 VDC, rate & thickness | Two 0 to 5 VDC, rate & thickness | |
數(shù)字輸入/輸出 | Four inputs, four relay outputs | Four inputs, four relay outputs | |
通信接口 | Standard: RS-232; Optional: USB or Ethernet | Standard: RS-232; Optional: USB or Ethernet | |
功率 | 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W | 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W | |
CE 合規(guī)性 | Class 1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD | Class 1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD | |
殼體/安裝 | 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") | 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") | |
重量 | 2.7 Kg (6 lbs) | 2.7 Kg (6 lbs) | |
Windows 軟件(集成) | Provides remote setup and operation, datalogging functions - see sample screenshot at right. | Provides remote setup and operation, datalogging functions - see sample screenshot at right. |
(2) 工具/密度 = 100/1,基礎(chǔ)頻率 = 6 赫茲,0.10 秒測(cè)量間隔
附件
名稱(chēng) | 說(shuō)明 |
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前裝式單傳感器 | 前裝式單傳感器 |
前裝式雙傳感器 | 前裝式雙傳感器 |
炫酷抽屜單傳感器 | 炫酷抽屜單傳感器 |
炫酷抽屜雙傳感器 | 炫酷抽屜雙傳感器 |
薄型雙傳感器 | 薄型雙傳感器 |
UHV 可烘烤傳感器 | UHV 可烘烤傳感器 |
濺射傳感器 | 濺射傳感器 |
Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
零件號(hào) | 明細(xì) |
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782-900-008 | 用于一臺(tái) SQM-160 或 CI-100 儀器的 19 in. 機(jī)架安裝套件 |
782-900-014 | 用于兩臺(tái) SQM-160 或 CI-100 儀器的 19 in. 機(jī)架安裝套件 |
782-502-096-G1 | USB 擴(kuò)展卡 |
782-502-097-G1 | 以太網(wǎng)擴(kuò)展卡 |
Oscillator kits | (包括振蕩器和電纜) |
783-500-109-10 | 3 米(10 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 3 米(10 英尺)BNC 電纜 |
783-500-109-25 | 7.6 米(25 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 7.6 米(25 英尺)BNC 電纜 |
783-500-109-50 | 15.2 米(50 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 15.2 米(50 英尺)BNC 電纜 |
783-500-109-75 | 22.8 米(75 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 22.8 米(75 英尺)BNC 電纜 |
Oscillator Only | (未隨附電纜) |
783-500-013 | 僅 OSC-100 振蕩器(無(wú)電纜) |
Cables | |
782-902-011 | 15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,公型/母型 |
782-902-012-10 | 3 米(10 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
782-902-012-25 | 7.6 米(25 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
782-902-012-50 | 15.2 米(50 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
782-902-012-75 | 22.8 米(75 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
耗材
名稱(chēng) | 說(shuō)明 |
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石英監(jiān)控器晶體 | 石英監(jiān)控器晶體 |
手冊(cè)
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
手冊(cè)
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (Chinese) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (Japanese) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
目錄
- Thin Film Catalog (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- 薄膜目錄 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
其他文件
- SQM-160 Comm Software V1.14 (Windows) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- SQM-160 V2 Software v2.9.0 (Windows) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- USB Installer v1.8.0 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- SQM-160 LabVIEW™ example |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|