功能
- 提供有單層和多層型號(hào)
- ModeLock 技術(shù)可避免跳模引起的薄膜厚度誤差
- 支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及雙傳感器自動(dòng)晶體轉(zhuǎn)換,從而生產(chǎn)力
- XTC/3M 多層型號(hào)最多支持 99 個(gè)過程、999 層薄膜、32 種薄膜材料、2 個(gè)傳感器和兩種源
- XTC/3S 單層型號(hào)最多支持 9 種薄膜、2 個(gè)傳感器和兩種源
- 易于閱讀的 TFT LCD 圖形顯示器
- 可以為薄膜和過程分配的描述性名稱,以便于檢索
- 提供以太網(wǎng)連接
- 獨(dú)立式(不需要計(jì)算機(jī))或便于 PC 操作的可選 Windows® 軟件
- 插拔式替換 INFICON XTC/2 控制器(受限于 XTC/2 功能和命令集)
典型應(yīng)用
- 光學(xué)鍍膜
新聞
XTC/3 前面板已根據(jù) INFICON公司的新標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行重新設(shè)計(jì)。
XTC/3M 是款帶有此新設(shè)計(jì)的薄膜產(chǎn)品并
已裝配在當(dāng)前銷售的新產(chǎn)品中。XTC/3S 的新型前面板設(shè)計(jì)
將于 2013 年末開始發(fā)貨。其他薄膜產(chǎn)品的前面板
將在 2014 年和 2015 年進(jìn)行更新。
規(guī)格
類型 | XTC3/S | XTC3/M | |
---|---|---|---|
頻率分辨率 | ±0.028 Hz @ 6 MHz | ±0.028 Hz @ 6 MHz | |
測(cè)量頻率范圍 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
測(cè)量周期 | 0.25 seconds | 0.25 seconds | |
厚度和速率分辨率/測(cè)量 (1) | ±0.034 ? | ±0.034 ? | |
測(cè)量技術(shù) | ModeLock | ModeLock | |
過程數(shù)量 | 1 | 99 | |
層數(shù) | 1 | 999 | |
材料計(jì)劃(或薄膜)數(shù)量 | 9 | 32 | |
傳感器輸入數(shù)量 | 2 | 2 | |
CrystalSix / Crystal 12 傳感器支持 | Yes | Yes | |
支持 XTAL 2 開關(guān) | Yes | Yes | |
來源輸出數(shù)量 | 2 | 2 | |
計(jì)算機(jī)通信 | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | |
RS232 波特率 | 115.2 KBaud | 115.2 KBaud | |
自動(dòng)晶體轉(zhuǎn)換 | Yes | Yes | |
繼電器數(shù)量 | 12, Not Event Assignable | 12, Event Assignable | |
可編程繼電器功能數(shù)量 | 1 | 1 | |
每個(gè)繼電器的功能 | 1 | 1 | |
繼電器額定電壓 | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | |
輸入數(shù)量 | 8 TTL, 24VDC Max | 8 TTL, 24VDC Max | |
可編程輸入功能數(shù)量 | 1, Not Event Assignable | 1, Event Assignable | |
記錄器輸出數(shù)量 | 1 | 1 | |
手動(dòng)電源 / 手持控制器 | Yes | Yes | |
排氣管風(fēng)扇 | No Exhaust Fan | No Exhaust Fan | |
測(cè)試模式 | Yes | Yes | |
閘門延遲 | Yes | Yes | |
二次成型模具 | Yes | Yes | |
外殼尺寸 | half rack, 2U high | half rack, 2U high | |
速率和厚度顯示分辨率 | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A | |
通過輸入選擇膜 | Yes | No | |
用戶指南語(yǔ)言 | English, Chinese | English, Chinese | |
控制環(huán)路 | PID | PID | |
用于從 PC 操作的軟件 | Yes | Yes | |
數(shù)據(jù)記錄 | Yes | Yes | |
質(zhì)量和穩(wěn)定性功能 | Yes | Yes | |
采樣保持 (RateWatcher™) | Yes | Yes | |
坩堝選擇 | Yes | Yes | |
坩堝反饋輸入 | Yes | Yes | |
選擇控制電壓極性 | Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution | Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution | |
程序鎖定碼 | Yes | Yes | |
帶圖形的顯示器 | Yes | Yes | |
用戶標(biāo)記過程(手機(jī)式字母數(shù)字輸入) | No | No | |
用戶標(biāo)記膜(手機(jī)式字母數(shù)字輸入) | No | No | |
傳輸傳感器控制 | Yes | Yes | |
XTC/2 RS232 通信兼容性 | Yes (limited) | Yes (limited) |
(1) 工具/密度 = 100/1,基礎(chǔ)頻率 = 6 兆赫茲
附件
名稱 | 說明 |
---|---|
前裝式單傳感器 | |
前裝式雙傳感器 | |
炫酷抽屜單傳感器 | |
炫酷抽屜雙傳感器 | |
薄型雙傳感器 | |
UHV 可烘烤傳感器 | |
濺射傳感器 | |
CrystalSix® 傳感器 | |
Crystal 12® 傳感器 | |
Easy Rate Single Sensor | |
RSH-600 旋轉(zhuǎn)式傳感器 |
零件號(hào) | 明細(xì) |
---|---|
780-700-G1 | Ethernet Module, XTC/3 |
755-262-G1 | Handheld Power Controller |
780-702-G1 | 單件機(jī)架安裝套件 – 提供將單臺(tái) XTC/3 安裝到標(biāo)準(zhǔn) 19 in. 機(jī)架上需要的所有材料 |
780-702-G2 | 兩件機(jī)架安裝套件 – 提供將兩臺(tái) XTC/3 并排安裝到標(biāo)準(zhǔn) 19 in. 機(jī)架上需要的所有材料 |
779-220-G1 | CrystalTwo 開關(guān),15.2 cm (6 in.) BNC 電纜 |
779-220-G2 | CrystalTwo 開關(guān),50.8 cm (20 in.) BNC 電纜 |
Oscillator kits | (包括振蕩器和電纜) |
780-611-G15 | 帶 5 ft. (4.6 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
780-611-G30 | 帶 30 ft. (9.1 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
780-611-G50 | 帶 50 ft. (15.2 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
780-611-G100 | 帶 100 ft. (30.5 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
780-612-G15 | 帶 15 ft. (4.6 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
780-612-G30 | 帶 30 ft. (9.1 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
780-612-G50 | 帶 50 ft. (15.2 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
780-612-G100 | 帶 100 ft. (30.5 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
780-613-G15 | 帶 15 ft. (4.6 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
780-613-G30 | 帶 30 ft. (9.1 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
780-613-G50 | 帶 50 ft. (15.2 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
780-613-G100 | 帶 100 ft. (30.5 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結(jié)合使用 |
Oscillator Only | (未隨附電纜) |
780-600-G1 | XTC/3 XIU(振蕩器)- 用于長(zhǎng)度為 6 in. 至 72 in.(15 cm 至 183 cm)的 XIU 至傳感器頭部電纜 |
780-600-G2 | XTC/3 XIU(振蕩器)- 用于長(zhǎng)度為 118 in. 至 157 in.(3 m 至 4 m)的 XIU 至傳感器頭部電纜 |
Cables | |
755-257-G6 | 15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,XIU 至真空饋入件 |
600-1261-P15 | 4.6 米(15 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
600-1261-P30 | 9.1 米(30 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
600-1261-P50 | 15.2 米(50 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
600-1261-P100 | 30.5 米(100 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
耗材
名稱 | 說明 |
---|---|
石英監(jiān)控器晶體 |
手冊(cè)
手冊(cè)
目錄
其他文件