功能
- 明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本
- 標準 RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網(wǎng))
- 設有 “Quick Setup”(快速設定)菜單、6 個區(qū)分上下文按鈕以及一個簡便的參數(shù)設定旋鈕,易于設定和操作
- 用于開發(fā)、測試和下載過程的 Windows®程序,以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進行過程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序
- 精確的過程控制,尤其適用于低沉積速率,測量速率為每秒 10 個讀數(shù),測量分辨率為 ±0.03 Hz
- 存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
- 使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料,提供精確的源分布監(jiān)控
規(guī)格
類型 | SQC-310 | SQC-310C | |
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測量 | |||
QCM 輸入 | 2 (4 optional) | 4 | |
測量頻率范圍 | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum | |
頻率分辨率 (1) | ± 0.012 Hz | ± 0.012 Hz | |
厚度和速率分辨率/測量 (2) | ±0.015 ? | ±0.015 ? | |
頻率穩(wěn)定性 | ± 2 ppm total, 0 to 50C | ± 2 ppm total, 0 to 50C | |
測量周期 | 0.10 to 1.0 s (adjustable) | 0.10 to 1.0 s (adjustable) | |
速率顯示 | 0.01 ?/sec | 0.01 ?/sec | |
控制 | |||
存儲 | 100 processes, 1000 layers, 50 films | 100 processes, 1000 layers, 50 films | |
控制輸出 | 2 (4 optional) | 4 | |
輸出信號 | ± 0 to 10 VDC, 15 bits | ± 0 to 10 VDC, 15 bits | |
數(shù)字輸入/繼電器 | 8/8 (16/16 optional) | 16/16 | |
數(shù)字輸入 | 5 VDC non-isolated | 5 VDC non-isolated | |
繼電器 | SPST Form 1A, 30V, 2A max | SPST Form 1A, 30V, 2A max | |
接口 | Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) | Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) | |
遠程電源控制 | Optional (IPN 782-900-017) | Optional (IPN 782-900-017) | |
顯示器 | |||
類型 | 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD | 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD | |
圖表 | Rate, deviation, power or full screen numeric | Rate, deviation, power or full screen numeric | |
一般 | |||
功率 | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W | |
合規(guī)性 | CE, RoHS | CE, RoHS | |
Windows® 軟件 | Included | Included | |
殼體/安裝 | 5 1/4” half-rack | 5 1/4” half-rack |
(2) 工具/密度 = 100/1,基礎(chǔ)頻率 = 6 赫茲,0.25 秒測量間隔
附件
名稱 | 說明 |
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前裝式單傳感器 | |
前裝式雙傳感器 | |
炫酷抽屜單傳感器 | |
炫酷抽屜雙傳感器 | |
薄型雙傳感器 | |
UHV 可烘烤傳感器 | |
濺射傳感器 | |
CrystalSix® 傳感器 | |
Crystal 12® 傳感器 | |
Easy Rate Single Sensor | |
RSH-600 旋轉(zhuǎn)式傳感器 |
零件號 | 明細 |
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782-900-017 | 手持功率控制裝置,10 ft. (3 m) 卷線 |
782-900-007 | 全高機箱擴展器 – 將一臺 SQC-310 或 Composer Elite 安裝到 19 in. 機架(包括封板) |
782-900-016 | 機架適配器 – 將兩臺 SQC-310 儀器安裝到 19 in. 機架 |
782-502-097-G1 | 以太網(wǎng)擴展卡 |
782-502-096-G2 | USB 擴展卡 |
Oscillator kits | (包括振蕩器和電纜) |
783-500-109-10 | 3 米(10 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 3 米(10 英尺)BNC 電纜 |
783-500-109-25 | 7.6 米(25 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 7.6 米(25 英尺)BNC 電纜 |
783-500-109-50 | 15.2 米(50 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 15.2 米(50 英尺)BNC 電纜 |
783-500-109-75 | 22.8 米(75 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 22.8 米(75 英尺)BNC 電纜 |
Oscillator Only | (未隨附電纜) |
783-500-013 | 僅 OSC-100 振蕩器(無電纜) |
Cables | |
782-902-011 | 15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,公型/母型 |
782-902-012-10 | 3 米(10 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
782-902-012-25 | 7.6 米(25 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
782-902-012-50 | 15.2 米(50 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
782-902-012-75 | 22.8 米(75 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
耗材
名稱 | 說明 |
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石英監(jiān)控器晶體 |
手冊
手冊
目錄
其他文件