1.即放即測! 2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量! 3.可無標樣測量! 4.通過樣品整體圖像更方便選擇測量位置! 測量樣品時,以往需花費約10秒的樣品對焦,現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成,大大提高樣品定位的操作性。 通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。 使用薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。 可從250×200mm的樣品整體圖像測量位置。 可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。 與以往機型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價格。 型號 FT110A 測量元素 原子序號Ti(22)~Bi(83) X射線源 空冷式小型X射線管 檢測器 比例計數(shù)管 準直器 ○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種 樣品觀察 CCD攝像頭 對焦 激光對焦(自動) 濾波器 一次濾波器(自動切換) 樣品區(qū)域 [固定]535×530 mm 測量軟件 薄膜FP法(2層、10種元素)、檢量線法 安全功能 樣品室門聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能 1. 通過自動定位功能提高操作性
2. 微區(qū)膜厚測量精度提高
3. 多達5層的多鍍層測量
4. 廣域觀察系統(tǒng)(選配)
5. 對應(yīng)大型印刷線路板(選配)
6. 低價位
管電壓:50(可變更)kV
管電流:10~1000µA
[電動] 260×210 mm (移動量X:250 mm, Y:200 mm)
選購項
· 圖像處理軟件
· 塊體FP軟件(材料組成分析)
· 塊體檢量線軟件(電鍍液分析)