THEMOS mini 熱發(fā)射顯微鏡是一種功能齊全,小型化的熱發(fā)射圖像分析系統(tǒng),配有InSbHS攝像頭。
THEMOS mini 可檢測(cè)半導(dǎo)體器件內(nèi)部產(chǎn)生的熱量,并將其顯示為疊加在圖案上的圖像,以便快速定位缺陷。
當(dāng)與具有長(zhǎng)工作距離的紅外物鏡一起使用時(shí),可快速、平滑地探測(cè)樣品晶片。
THEMOS mini是熱發(fā)射分析的非常合適的入門(mén)型號(hào),可廣泛用于半導(dǎo)體材料和PC板宏觀觀察以及半導(dǎo)體器件的微觀觀察。