ALPAO高速變形鏡

變形鏡，又稱(chēng)變形反射鏡（DM），主要運(yùn)用于各種自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)之中，主要用于校正波前畸變，它由很多驅(qū)動(dòng)單元組合而成，每個(gè)驅(qū)動(dòng)單元都有自己獨(dú)立的控制器，在外加電壓控制下，變形鏡的鏡面可以產(chǎn)生需要的形變量，從而對(duì)波前像差進(jìn)行調(diào)制。變形鏡是自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中的重要部件之一。
ALPAO是從法國(guó)JosephFourier大學(xué)獨(dú)立出來(lái)的公司，主要開(kāi)發(fā)電磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)的MEMS驅(qū)動(dòng)器，到820 個(gè)驅(qū)動(dòng)器，行程達(dá)80µm，表面質(zhì)量<7nmRMS，采用目前世界上較*的拋光工藝，表面粗糙度<1nm，變形鏡的響應(yīng)時(shí)間只有500us，帶寬可以達(dá)到2KHz。

ALPAO公司可變形鏡

ALPAO公司MEMS變形鏡結(jié)構(gòu)緊湊、相較于波士頓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調(diào)制量大低磁滯性<1%，高線(xiàn)性度>97%。相比于MEMS靜電變形鏡來(lái)說(shuō)，電磁驅(qū)動(dòng)變形鏡相較于壓電變形鏡的優(yōu)點(diǎn)在于其巨大的變形量，更高的調(diào)制精度。

主要特點(diǎn)：

• 調(diào)制量大：波前相位調(diào)制幅度超過(guò)80μm

• 穩(wěn)定度高：+/-1% over 30s，<10nm RMS over hours

· 高動(dòng)態(tài)范圍 ：響應(yīng)時(shí)間小于500μs

· 鍍膜質(zhì)量高： R>97% @500nm- 2.0µm

• 表面平整：表面粗糙度 <15? RMS

• 亞納米步長(zhǎng)精度

• 低磁滯：磁滯誤差小于1%

• 單通道相位調(diào)制幅度>5.0 µm PTV

法國(guó)ALPAO高速變形鏡主要型號(hào)相關(guān)參數(shù)如下：