CDE ResMap 四點(diǎn)探針 ResMap 273
CDE ResMap–CDE 公司生產(chǎn)之電阻值測(cè)試系統(tǒng)是以四探針的工藝,以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控,既超卓可靠又簡(jiǎn)易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家*的
CDE ResMap Model 273
Resmap 273
在178型的技術(shù)基礎(chǔ)上,ResMap273是半導(dǎo)體行業(yè)30毫米桌面四點(diǎn)探針儀。273型擴(kuò)展了ResMap原來(lái)一些產(chǎn)品的性能,實(shí)現(xiàn)了300毫米的技術(shù)進(jìn)步和大型襯底膜特征。外形小巧,堅(jiān)固耐用,ResMap創(chuàng)造了同等的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。
晶片傳送 | 手動(dòng)加載 | 電腦系統(tǒng) | 奔騰系列;windows XP家用(不帶顯示) | |
晶片尺寸 | 2” - 12” | |||
SECS-II 選項(xiàng) | 有 | |||
直徑 | 12.2” | |||
映照模式 | 極投影地圖 (對(duì)準(zhǔn)缺口/平形,跨越,或者持平);矩形圖(選擇內(nèi)側(cè)邊緣排除);線掃描(直徑,半徑或沿直徑任意點(diǎn),最小步進(jìn)0.1毫米點(diǎn)),用戶(hù)自定義(模板) | |||
面積 | 8.6” x 8.6” | |||
典型測(cè)量時(shí)間 | 每site1秒 | |||
平面圖 | 等高線(間距選擇,1/3σ,固定和自動(dòng)%),3D,線,數(shù)據(jù)圖,直方圖,數(shù)據(jù)序列,徑向和角分布,趨勢(shì)圖的不同模式可供選擇 | |||
輸出 | 每個(gè)晶片1分(29sites) | |||
測(cè)量范圍 | 2 mΩ/? - 5 MΩ/? (可以?xún)?yōu)化為1 mΩ/?) | |||
重復(fù)率 (1σ, 典型): | ≤ ±0.02% (靜態(tài)或Rs) ≤ ±0.02%(動(dòng)態(tài)附近點(diǎn)) | |||
數(shù)據(jù) | 所有ResMap數(shù)據(jù)文件可以復(fù)制到如Excel®進(jìn)行進(jìn)一步的分析。 | |||
準(zhǔn)確度 | ≤ ±0.5%采用NIST可追溯性ResCal標(biāo)準(zhǔn)
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周邊除外范圍 | 1.5毫米(探針中心到膜邊緣距離)
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設(shè)備 | |
吸塵系統(tǒng): | 不要求真空 |
交流功率: | 100V to 240V < 10 KVA |
尺寸(英尺): 寬*深*高 | 15” w x 18”d x 10”h; 桌面(不包括桌面) |
2. 驗(yàn)收測(cè)試方法
· 精確度:
精確度測(cè)量方法:用標(biāo)準(zhǔn)片標(biāo)定后,連續(xù)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)片5次,取平均值與標(biāo)準(zhǔn)值對(duì)比。
· 重復(fù)精度:
用標(biāo)準(zhǔn)片標(biāo)定后,連續(xù)測(cè)試樣品同一點(diǎn)5次,按如下公式計(jì)算:(Max-Min) /(Max+Min)(%)。
· 穩(wěn)定度:
用標(biāo)準(zhǔn)片標(biāo)定后,對(duì)同一樣品的同一個(gè)點(diǎn),依次在 1秒,30秒,1分鐘,5分鐘,15分鐘,30分鐘,45分鐘,1小時(shí)測(cè)量,按如下公式計(jì)算:(Max-Min) /(Max+Min)(%)。
光伏測(cè)試專(zhuān)用美國(guó)ResMap四點(diǎn)探針
CDE ResMap的特點(diǎn)如簡(jiǎn)述如下: * 高速穩(wěn)定及自動(dòng)決定范圍量測(cè)與傳送,THROUGHPUT高 * 數(shù)字方式及每點(diǎn)高達(dá)4000筆數(shù)據(jù)搜集,表現(xiàn)良好重復(fù)性及再現(xiàn)性 * Windows 操作接口及軟件操作簡(jiǎn)單 * 新制程表現(xiàn)佳(銅制程低電阻率1.67mΩ-cm及Implant高電阻2KΩ/□以上,皆可達(dá)成高精確度及重復(fù)性) * 體積小,占無(wú)塵室面積少 * 校正簡(jiǎn)單,且校正周期長(zhǎng) * 可配合客戶(hù)需求,增強(qiáng)功能與適用性 * 300mm 機(jī)種可以裝2~4個(gè)量測(cè)頭,并且
可以Recipe設(shè)定更換。
CDE ResMap–CDE 公司生產(chǎn)之電阻值測(cè)試系統(tǒng)是以四探針的工藝,以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控,超卓可靠又簡(jiǎn)易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家*的。