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CDE ResMap 四點(diǎn)探針 ResMap 273

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2022-03-13
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量198
  • 人氣值1658
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CDE ResMap 四點(diǎn)探針 ResMap 273
CDE ResMap 四點(diǎn)探針 ResMap 273 產(chǎn)品詳情

CDE ResMap 四點(diǎn)探針 ResMap 273

CDE ResMap–CDE 公司生產(chǎn)之電阻值測(cè)試系統(tǒng)是以四探針的工藝,以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控,既超卓可靠又簡(jiǎn)易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家*的


CDE ResMap Model 273

Resmap 273

178型的技術(shù)基礎(chǔ)上,ResMap273是半導(dǎo)體行業(yè)30毫米桌面四點(diǎn)探針儀。273型擴(kuò)展了ResMap原來(lái)一些產(chǎn)品的性能,實(shí)現(xiàn)了300毫米的技術(shù)進(jìn)步和大型襯底膜特征。外形小巧,堅(jiān)固耐用,ResMap創(chuàng)造了同等的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

晶片傳送

手動(dòng)加載


電腦系統(tǒng)

奔騰系列;windows XP家用(不帶顯示)

晶片尺寸

2” - 12”

SECS-II 選項(xiàng)

直徑

12.2”

映照模式

極投影地圖

(對(duì)準(zhǔn)缺口/平形,跨越,或者持平);矩形圖(選擇內(nèi)側(cè)邊緣排除);線掃描(直徑,半徑或沿直徑任意點(diǎn),最小步進(jìn)0.1毫米點(diǎn)),用戶(hù)自定義(模板)

面積

8.6” x 8.6”

典型測(cè)量時(shí)間

site1

平面圖

等高線(間距選擇,1/3σ,固定和自動(dòng)%),3D,線,數(shù)據(jù)圖,直方圖,數(shù)據(jù)序列,徑向和角分布,趨勢(shì)圖的不同模式可供選擇

輸出

每個(gè)晶片1分(29sites

測(cè)量范圍

2 mΩ/? - 5 MΩ/?

(可以?xún)?yōu)化為1 mΩ/?)

重復(fù)率

(1σ, 典型):

≤ ±0.02% (靜態(tài)或Rs

≤ ±0.02%(動(dòng)態(tài)附近點(diǎn))

數(shù)據(jù)

所有ResMap數(shù)據(jù)文件可以復(fù)制到如Excel®進(jìn)行進(jìn)一步的分析。

準(zhǔn)確度

≤ ±0.5%采用NIST可追溯性ResCal標(biāo)準(zhǔn)

周邊除外范圍

1.5毫米(探針中心到膜邊緣距離)


設(shè)備

吸塵系統(tǒng)

不要求真空

交流功率

100V to 240V < 10 KVA

尺寸(英尺)

**

15” w x 18”d x 10”h;

桌面(不包括桌面)

2. 驗(yàn)收測(cè)試方法

· 精確度

精確度測(cè)量方法:用標(biāo)準(zhǔn)片標(biāo)定后,連續(xù)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)片5次,取平均值與標(biāo)準(zhǔn)值對(duì)比。

· 重復(fù)精度:

用標(biāo)準(zhǔn)片標(biāo)定后,連續(xù)測(cè)試樣品同一點(diǎn)5次,按如下公式計(jì)算:(Max-Min) /Max+Min)(%)。

· 穩(wěn)定度:

用標(biāo)準(zhǔn)片標(biāo)定后,對(duì)同一樣品的同一個(gè)點(diǎn),依次在 1秒,30秒,1分鐘,5分鐘,15分鐘,30分鐘,45分鐘,1小時(shí)測(cè)量,按如下公式計(jì)算:(Max-Min) /Max+Min)(%)。


光伏測(cè)試專(zhuān)用美國(guó)ResMap四點(diǎn)探針


CDE ResMap的特點(diǎn)如簡(jiǎn)述如下: * 高速穩(wěn)定及自動(dòng)決定范圍量測(cè)與傳送,THROUGHPUT高 * 數(shù)字方式及每點(diǎn)高達(dá)4000筆數(shù)據(jù)搜集,表現(xiàn)良好重復(fù)性及再現(xiàn)性 * Windows 操作接口及軟件操作簡(jiǎn)單 * 新制程表現(xiàn)佳(銅制程低電阻率1.67mΩ-cm及Implant高電阻2KΩ/□以上,皆可達(dá)成高精確度及重復(fù)性) * 體積小,占無(wú)塵室面積少 * 校正簡(jiǎn)單,且校正周期長(zhǎng) * 可配合客戶(hù)需求,增強(qiáng)功能與適用性 * 300mm 機(jī)種可以裝2~4個(gè)量測(cè)頭,并且
可以Recipe設(shè)定更換。

CDE ResMap–CDE 公司生產(chǎn)之電阻值測(cè)試系統(tǒng)是以四探針的工藝,以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控,超卓可靠又簡(jiǎn)易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家*的。



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