型號(hào):GGH-11
說(shuō)明:GGH-11氦質(zhì)譜檢漏儀最小可檢漏率:1×10-11Pa?m3/s,漏率顯示范圍: 1×10-4~1×10-11Pa?m3/s ...
GGH-11型氦質(zhì)譜檢漏儀指標(biāo)
一、檢漏儀技術(shù)參數(shù)
1.最小可檢漏率:1×10-11Pa·m3/s
2.漏率顯示范圍: 1×10-4~1×10-11Pa·m3/s
3.啟動(dòng)時(shí)間: ≤5min
4.響應(yīng)時(shí)間:≤1S
5.檢漏口壓力: 1000Pa
6.檢漏口對(duì)氦抽速: 1.5l/s
7.重量:75kg
8.工作環(huán)境: 溫度:12 oC至40 oC, 相對(duì)濕度≤80%
二、檢漏儀所配置的分子泵的技術(shù)參數(shù)
抽速L/S | 50L/S |
抽氣時(shí)間(14L容積) | 80 sec (100 mbar);110 sec (1 mbar); |
155 sec (1e-4 mbar); 400sec (1e-5 mbar) | |
壓縮比N2/He/H2 | 5×108/8×104/7×103 |
渦輪泵轉(zhuǎn)速 | 36.000 RPM |
啟動(dòng)時(shí)間 | <60S |
安裝位置 | 任意 |
運(yùn)行溫度 | 5°C – 50°C |
推薦前級(jí)泵 | DS42 DS302 |
入口法蘭直徑 | KF40 |
前級(jí)法蘭直徑 | KF16 |
重量 | 16.7Kg |
三、檢漏儀所配置的機(jī)械泵的技術(shù)參數(shù)
抽氣量 | 50HZ:4L/S |
抽速 | 50HZ:3L/S |
極限分壓強(qiáng) | 10-4mbar |
極限總壓強(qiáng) | 2×10-3mbar |
帶氣振閥的極限總壓強(qiáng) | 1×10-3mbar |
水蒸氣壓強(qiáng) | 30mbar |
水蒸氣容量 | 350g/h |
油體積 最小/ | 0.25/0.6 |
發(fā)動(dòng)機(jī)功率 | 0.75kw |
轉(zhuǎn)速 50HZ rpm | 1500 |
重量 | 25Kg |
進(jìn)氣口法蘭 | 25KF DN |
排氣口法蘭 | 25KF DN |
李經(jīng)理(微信同號(hào));028-