
復(fù)合式光學(xué)三坐標(biāo)可選配各種點(diǎn)激光/線激光傳感器測(cè)頭。
主要特點(diǎn):
◆ 激光測(cè)量傳感器可與光學(xué)圖象處理測(cè)量傳感器,接觸式測(cè)量傳感器配合使用
◆ 激光在光線中不損失測(cè)量范圍
◆ 光斑小,可測(cè)量微小的細(xì)節(jié) (在WLP 10x的情況下為3um)
◆ 垂直激光光路,應(yīng)用于小孔測(cè)量
◆ CNC光強(qiáng)度調(diào)節(jié)及智能軟件適用于多種表面測(cè)量
技術(shù)參數(shù):
技術(shù)參數(shù):
◆ 激光測(cè)量速度 1米/秒 配用(Inspector FQ )
◆ 激光采樣頻率:5000 點(diǎn)/秒
◆ 激光分辨率:0.1µm,可選0.01µm
◆ 變焦光學(xué)鏡頭配合激光測(cè)頭 WLP:
探測(cè)誤差MPE*. P1Z:2.5µm
掃描探測(cè)誤差MPE*. THP1Z:3.5µm
◆ 5x固定光學(xué)鏡頭配合激光測(cè)頭 WLP:
探測(cè)誤差MPE*. P1Z:2.5µm
掃描探測(cè)誤差MPE*. THP1Z:3.5µm
◆ 10x固定光學(xué)鏡頭配合激光測(cè)頭 WLP:
探測(cè)誤差MPE*. P1Z:1.0µm
掃描探測(cè)誤差MPE*. THP1Z:1.5µm
◆ 20x固定光學(xué)鏡頭配合激光測(cè)頭 WLP:
探測(cè)誤差MPE*. P1Z:0.75µm
掃描探測(cè)誤差MPE*. THP1Z:1.0µm
◆ 測(cè)量原理:傅科棱鏡法
* 依據(jù)ISO 10360和VDI 2617