Filmetrics F54 系列產(chǎn)品集成顯微成像裝置,可以自動測量微觀區(qū)域的薄膜厚度分布,光斑尺寸可做到1um。F54采用電動R-Theta 平臺自動移動到選定的測量點(diǎn),并以每秒測繪兩個點(diǎn)的速度快速完成薄膜厚度的測繪,樣品直徑可達(dá)450毫米,F(xiàn)54內(nèi)建數(shù)十種同心圓,矩形或線性圖案模式,也可自行建立無數(shù)量限制的測量點(diǎn)。
F54 自動薄膜測繪只需連接設(shè)備到運(yùn)行Windows™系統(tǒng)計算機(jī)的USB端口, 可在幾分鐘內(nèi)輕松完成設(shè)置,不同的型號主要是由厚度和波長范圍作為區(qū)別,通常較薄的薄膜需要用較短的波長來測量(如F54-UV) ,而較長的波長用來測量更厚,更粗糙或更不透明的薄膜。