
氦離子顯微鏡ORION的基礎(chǔ)是革命性的、原子尺寸的、ALIS氣體場(chǎng)離子源。由單個(gè)原子發(fā)出的,極其明亮的氦離子束客服了衍射和能量擴(kuò)展的限制,正佳萇浜湍芰康睦┱褂跋熗說繾郵諫璧緹抵械撓τ謾Ⅻbr /> 這就意味這ORION顯微鏡擁有一個(gè)非常小的束斑用于高分辨率成像。此外,在一個(gè)大大縮小了相互作用區(qū)里,氦離子束和樣品的動(dòng)力學(xué)結(jié)果貢獻(xiàn)了更高的分辨率和內(nèi)涵豐富的襯度機(jī)制。
ORION顯微鏡也可以使用背散射離子成像,具有很強(qiáng)元素襯度的這種技術(shù),提供了在樣品表面區(qū)分不同材料的能力。
ORION顯微鏡靈活性高、功能多樣,能夠提供廣泛的分析信息,其中包括:形貌、材料、電壓襯度、晶體學(xué)、表面和次表面信息,這種技術(shù)的另一個(gè)好處是在絕緣樣品上的高性能。
一、氦離子顯微鏡ORION技術(shù)參數(shù)
1、分辨率:0.75nm 45kv工作距離4mm;1.0nm 30kv工作距離4mm;2.5nm 10kv工作距離4mm
2、放大倍數(shù):100x-1,000,000x
3、視野:1mm-100nm
4、離子束:1PA時(shí)〈1nm;離子束>流1 fA-25pA
5、離子源:氦氣體場(chǎng)離子源;壽命〉1000小時(shí);離子源電動(dòng)對(duì)中
6、樣品室:體積400mm3;基體真空度2*10-7Torr;接口板可定制;載物鎖
7、圖像探測(cè)器:Evehart-Thornley二次電子探測(cè)器;微通道板(選配);透射電子探測(cè)器(選配)
8、樣品臺(tái):5軸電動(dòng)樣品臺(tái),X 、Y軸行程50mm,Z軸行程12mm,360℃旋轉(zhuǎn),0℃到45℃傾斜
9、真空系統(tǒng):無油無微粒低真空泵設(shè)計(jì),磁懸浮渦輪分子泵
10、攝像機(jī):三臺(tái)監(jiān)控?cái)z像機(jī)一離子源觀察
11、樣品臺(tái)觀察、樣品室觀察
12、用戶界面:兩臺(tái)20 寸平板顯示器;圖像2048*2048像素;系統(tǒng)主要參數(shù)存檔功能
二、氦離子顯微鏡ORION主要特點(diǎn)
1.的材料襯度
2.高分辨率
3.廣泛的分析信息
4.簡(jiǎn)單的樣品制備
5.離子源工作穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命
可見光學(xué)和電子光學(xué)的。其電子光學(xué)前身為L(zhǎng)EO,更早叫Cambridge和ZEISS???middot;蔡司ORION氦離子顯微鏡它所獲得的圖像具有高分辨率和材料襯度,并具有優(yōu)于五叩木吧?、?/span>