多濃度點(diǎn)氣體稀釋裝置SSGM：配氣儀的實(shí)驗(yàn)通常運(yùn)行48小時(shí)，自動(dòng)化和智能化就很重要，當(dāng)出現(xiàn)錯(cuò)誤時(shí)，如設(shè)定值和實(shí)際值之間出現(xiàn)嚴(yán)重偏差，必須采取措施，智能稀釋配氣儀的優(yōu)勢(shì)是在發(fā)生故障或緊急情況時(shí)，能自動(dòng)調(diào)節(jié)或遠(yuǎn)程調(diào)節(jié)，無(wú)需人為干預(yù)。作為確保實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，因此，測(cè)試結(jié)果的重復(fù)性以及質(zhì)量流量控制器的重復(fù)性非常重要。

   多濃度點(diǎn)氣體稀釋裝置SSGM：如今的智能稀釋配氣儀已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)，如：氣體成分制造、CVD和PVD、光學(xué)玻璃鍍膜、真空技術(shù)和太陽(yáng)能元器件制造及半導(dǎo)體加工工藝等。不同于市場(chǎng)上的許多其他智能稀釋配氣儀，SSGM系列的產(chǎn)品采用*的數(shù)字技術(shù)，提供總線(xiàn)接口選項(xiàng)和附加功能如累計(jì)和報(bào)警，按照用戶(hù)需求，在出廠(chǎng)時(shí)調(diào)整并保持精度規(guī)格，從而提高稀釋儀的準(zhǔn)確度，減少不同范圍稀釋儀的庫(kù)存，降低采購(gòu)成本。包括觸摸顯示屏、CUP處理器、氣路管道、壓力傳感器、氣體流量調(diào)節(jié)閥、排風(fēng)系統(tǒng)、網(wǎng)絡(luò)接口、 電源插口、集控中心、警示燈等組合而成，本調(diào)節(jié)儀能實(shí)時(shí)獲悉氮?dú)夂蜌鍤獾牧髁考袄塾?jì)用量，使其實(shí)現(xiàn)能合理地調(diào)節(jié)或控制氮?dú)獾墓┙o量，以實(shí)現(xiàn)能同時(shí)對(duì)多個(gè)溫度控制區(qū)進(jìn)行檢測(cè)，其具有檢測(cè)精度高的優(yōu)點(diǎn)。

多元?dú)怏w濃度混合儀由微處理器控制的數(shù)字化配氣系統(tǒng)，是一種高精度、高分辨率的氣體稀釋系統(tǒng)，該儀器的配氣技術(shù)和所有配件全部為本公司提供，為交鑰匙工程。氣體濃度的混合范圍連續(xù)可調(diào)，使用時(shí)用戶(hù)只需要在彩色觸摸屏上設(shè)定幾項(xiàng)數(shù)值，就能得到自己所需要的氣體濃度，氣體總流量的大小，根據(jù)使用要求，能任意調(diào)節(jié)。良好的重復(fù)性和線(xiàn)性能更好的保證每次配氣的精準(zhǔn)度和重復(fù)性。在控制采集間設(shè)置遠(yuǎn)程控制終端，遠(yuǎn)程操控供氣過(guò)程，對(duì)主管路壓力和各個(gè)支路壓力進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控；在控制軟件內(nèi)可對(duì)個(gè)支路內(nèi)流量進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控；具備遠(yuǎn)程自動(dòng)控制和手動(dòng)控制功能，可進(jìn)行自動(dòng)閉環(huán)控制亦可開(kāi)環(huán)手動(dòng)控制；控制軟件在工作過(guò)程中，實(shí)時(shí)記錄各個(gè)關(guān)鍵參數(shù)（支路壓力、流量、調(diào)節(jié)開(kāi)度等），并能導(dǎo)出為excel文件。