詳細(xì)信息
IXION-193是一款單頻全固態(tài)激光器。應(yīng)用于光學(xué)度量,193nm的校準(zhǔn)光源,高功率ArF的帶寬控制。該激光器的光譜帶寬接近理論傅里葉極限。
激光器的中心波長(zhǎng)可以在190-194nm之間選擇,選擇精度高達(dá)0.01nm。
選項(xiàng):內(nèi)部集成一個(gè)高精度光譜儀,光譜精度高達(dá)0.001nm??蓪?shí)現(xiàn)激光器的可控性。
應(yīng)用領(lǐng)域:
· 193nm光學(xué)度量
· 光譜儀校準(zhǔn)
· 干涉度量分析
· 的種子源
產(chǎn)品特點(diǎn):
· 工業(yè)化應(yīng)用
· 二極管泵浦
· 密封外殼
· 槽安裝激光二極管
· 光學(xué)參數(shù)優(yōu)良
· 功率穩(wěn)定度高
· 免維護(hù),熱電控制
· 19寸電源和冷卻
· LabVIEW驅(qū)動(dòng)
· 集成光譜儀,實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)的在線控制(選項(xiàng))
產(chǎn)品參數(shù):
型號(hào) | IXION-193 SLM |
波長(zhǎng) | 193.368nm |
平均功率 | >10mW |
脈寬 | <10ns |
單脈沖能量 | 1.6μJ |
重復(fù)頻率 | 6kHz |
M2 | <1.6 |
光譜線寬 | <120MHz = 0.015pm = 0.004cm-1 |
光譜控制 | >80GHz = 10pm = 2.6 cm-1 |
相干長(zhǎng)度 | >1m |
系統(tǒng)尺寸(L×W×H),重量:
激光頭 | 795×710×154mm3 | 74kg |
電源(冷卻裝置) | 600×600×600mm3 | 45kg |
電源參數(shù):
85-264VAC |
47-63Hz |
650W |