傳統(tǒng)的探針測量方法只能獲取到被測件少量的點數(shù)據(jù)，效率低，無法滿足現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化的測量需求。而基于白光干涉技術(shù)的白光干涉儀可以進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像的測量過程，通過系統(tǒng)軟件分析器件表面3D圖像并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，實現(xiàn)了器件表面形貌3D測量的效率高與簡化性，提高了測量效率，且降低了系統(tǒng)的復(fù)雜性。
中圖儀器的SuperView W1白光干涉儀檢測設(shè)備以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合3D 建模算法、精密Z向掃描模塊等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描，同時通過系統(tǒng)軟件建立表面3D圖像，之后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取參數(shù)，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能。
SuperView W1白光干涉儀檢測設(shè)備分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。
注意事項
1、現(xiàn)場開箱后，核對設(shè)備型號、配件規(guī)格與數(shù)量；確認(rèn)外觀無劃傷或掉漆；確認(rèn)各部件有無損壞或異常。
2、使用中圖儀器專用玻璃標(biāo)準(zhǔn)器進(jìn)行設(shè)備的校準(zhǔn)，確認(rèn)儀器符合技術(shù)協(xié)會的要求。
3、驗收標(biāo)準(zhǔn)參照現(xiàn)行國家（或行業(yè)）標(biāo)準(zhǔn)以及本技術(shù)協(xié)議為準(zhǔn)。
4、驗收合格后，供方需和需方簽訂《產(chǎn)品驗收報告》。
