詳細信息
產品介紹：
波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。 基于高速波長掃描的激光器可以實現(xiàn)每波長更高功率的測量，從而實現(xiàn)高動態(tài)范圍，甚至在未拋光的晶片上也可以進行厚度測量，例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構成。 波長掃描光聚焦在目標上，并且在通過傳感器之后由PD檢測由目標表面和背面的反射形成的干涉圖案。
產品特點：
l 用于硅晶圓的全光學，非接觸式厚度傳感器
l 高動態(tài)范圍，能夠測量無序表面
l 能夠在濕法蝕刻期間進行原位測量
產品應用：
l 硅片厚度測量
產品參數(shù)：
主要技術指標 | 硅片厚度測試傳感器（SIT-200） | |
SIT-200 | ||
測試功能 | - | 硅片厚度 |
厚度測試范圍 | um | 10~500（n=3.5） |
激光器 | nm | 波長掃描激光器，1515nm-1585nm |
光輸出功率 | mW | 0.6（Class 1） |
引導光源（基準光源） | - | RED LD，Laser class 1M |
測試時間 | ms | ≥20 |
重復率 | um | ＜0.1（3σ） |
監(jiān)控輸出 | - | 干擾信號（電信號） |
程控接口 | - | Ethernet（網口） |
電源 | - | AC100-240V（50/60Hz） |
尺寸（WxHxD） | mm | 364x147x391 |
重量 | Kg | 9.0 |
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