- 采用金屬避風墊圈
- 搭載異常報警功能
規(guī)格
?SEC-E400J
氣體連接部材質(zhì) | SUS-316L,Teflon |
---|---|
磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式 | 非通電時:閉標準 |
流量范圍 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM |
流量控制范圍 | 2?100% F.S.(全量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(全量程) |
?SEC-E450J
氣體連接部材質(zhì) | SUS-316L,Teflon |
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磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式 | 非通電時:閉標準 |
流量范圍 | 20/30 SLM |
流量控制范圍 | 2?100% F.S.(全量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(全量程) |