| ZD-D1500是國內(nèi)C9大學、北京合創(chuàng)智達光電科技有限公司聯(lián)合研發(fā)的新一代快速超精密激光干涉儀。
l 在中國計量科學研究院、中國國家等單位應用 |
ZD-D1500核心技術指標均通過中國計量科學研究院等法定計量機構的檢定校準。
l 激光真空波長準確度 1.2×10-8（k=3） l 動態(tài)測量分辨力 0.3 nm l 速度 1500 mm/s l 數(shù)據(jù)更新率 10MHz |
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ZD D1500特征與優(yōu)勢
n 高測速與高精度的統(tǒng)一！突破了高速激光干涉儀的動態(tài)信號處理技術，無論是動態(tài)測量還是靜態(tài)監(jiān)測，均可實時提供超精密測量結(jié)果！ n 非接觸多維振動測量！采用自定義的VME硬件接口模式，更新速度10MHz，可實現(xiàn)即測即知，測量動作延遲漂移小于0.3ns,引入動態(tài)測量誤差小于0.5ns！ | n 本土化產(chǎn)品的快速供應！國外激光測振儀出口受到嚴格管控，而本產(chǎn)品核心部件均來自國內(nèi)，30 - 50個工作日即可供貨，無需歷經(jīng)嚴苛的審批過程！ n 專家級成套解決方案！超精密級測量儀器的測量精度常被工作環(huán)境、對象等吞沒。依托本公司超精密測量專家團隊，可提供非接觸性激光測量解決方案！ |
應用領域
n 機械模態(tài)分析 n 振動傳感器校準 n 微電子光刻機 n 超精密數(shù)控機床 | n 高頻聲表面波測試 n 瞬態(tài)微觀位移捕獲 n 高速三坐標測量機 n 高速機光測長機 |
ZD D1500技術規(guī)格
儀器整體規(guī)格 | |||
測量速度 | 1500 mm/s(可選2000 mm/s) | ||
測量分辨力 | 0.3 nm | ||
線性精度 | 0.1/0.012ppm(空氣/真空) | ||
數(shù)據(jù)采樣率 | 10 MHz | ||
穩(wěn)頻激光器 | |||
真空激光波長準確度 | 1.2×10-8 (可選1.0×10-9) | ||
短期頻率穩(wěn)定度 | 2×10-9/3小時 | ||
長期頻率穩(wěn)定度 | 1.2×10-8/工作周期 | ||
激光輸出功率 | 0.2 - 0.5 mW | ||
干涉鏡組 | |||
單軸干涉鏡組 | 光學4細分 | ||
多軸干涉鏡組 | 光學4細分 | ||
光電接收器 | |||
探測頭散熱 | 0 mW | ||
可探測功率 | 0.5 - 50 μW | ||
電子細分卡 | |||
測量分辨力 | 0.3 nm@光學4細分 | ||
接口形式 | VME/USB | ||
數(shù)據(jù)更新率 | 10 MHz | ||
空氣折射率補償 | |||
氣壓測量精度 | 10 Pa | ||
濕度測量精度 | 0.8% RH | ||
溫度測量精度 | 0.02 oC | ||
材料溫度補償 | |||
溫度測量精度 | 0.02 oC | ||
測量通道數(shù) | 3通道 (可選15通道) | ||
使用要求 | |||
使用溫度 | 15 - 25 oC | ||
使用濕度 | 20 - 70 % RH | ||
工作時間 | 20 000 小時 | ||
