1、控制模式：開(kāi)環(huán)控制和閉環(huán)控制
2、易于集成：可與國(guó)產(chǎn)自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀配套使用，來(lái)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，達(dá)到穩(wěn)定壓強(qiáng)的目的，
同時(shí)亦可選擇進(jìn)口壓強(qiáng)控制儀
3、響應(yīng)時(shí)間快
4、性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長(zhǎng)
6、無(wú)機(jī)械連接件，無(wú)伺服馬達(dá)，無(wú)磨損，在斷電的情況下可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)關(guān)閉的特點(diǎn)
PEV-1壓電閥技術(shù)參數(shù)：
閥門類型： 壓電晶體
可控制的氣體： 兼容各種材料
流量范圍： 0？500 SCCM
漏率： <1x10？9 scc/sec（1ATM HE
ON INLET）
響應(yīng)時(shí)間： 2微秒
進(jìn)氣壓力： 50 PSI
驅(qū)動(dòng)要求：電壓： 0？100 VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍： ＋10°C to＋60°C
材料： 316不繡剛，氟橡膠，特富龍，
陶瓷片
進(jìn)氣和出氣連接： 1/4"Swagelok Fittings
電氣連接： 標(biāo)準(zhǔn)BNC
重量： 800克
