Pirani 標準真空計
INFICON的 Pirani 標準真空計 PSG500 和 PSG502-S代表封裝在**耐用小型管殼內(nèi)的****的Pirani技術(shù).溫度補償提供快速與**穩(wěn)定的真空測量并消除了對**壓強反應慢的問題. **耐用的不銹鋼傳感單元**適用于半導體系統(tǒng),以及常規(guī)用途如前級真空管道中.
特點
占空間小 **方位安裝
不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件 **佳化的溫度補償 易于集成的對數(shù)訊號輸出 **10巴**壓力的高過壓能力,用螺紋連接件 烘烤型在法蘭處可達到250 °C 易于**換的傳感單元
應用
控制高真空電離真空計 前級真空壓強** 真空系統(tǒng)中的安全電路 在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量與控制