周 萃  181-（6205）-9184Setra西特227表壓復(fù)合壓絕壓超高純壓力傳感器
Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式 “Block” 氣
體棒和面板設(shè)計，能夠滿足如今 300 mm 工具的要求。該
型號占用空間僅 11/8″，能節(jié)省寶貴的空間 ；結(jié)構(gòu)堅固，是
要求長期穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測
量應(yīng)用于
·11/8″“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
的理想選擇。
與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同， Setra 227 型壓
力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計。所有接
液部件均采用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋
光至 5 Ra（大 7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實
現(xiàn)無污染氣體輸送。
227 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三種輸
出類型，精度達 ±0.25% FS 或 1.0% 讀數(shù)。該型號可選符
合工業(yè)標準的 11/8″帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力接
口，另外還可使用多芯電纜、 4 針卡口接頭和 9 針或 15 針
D-sub 接頭進行電氣連接。與 328 型 11/8″旋轉(zhuǎn)顯示屏配合
使用時， 227 型可實現(xiàn)理想的壓力測量和顯示。
零點和量程調(diào)整裝置位于旋轉(zhuǎn)保護罩下方的側(cè)面。用戶還
可選擇絕壓、表壓或復(fù)合壓測量范圍。
高性價比
227 型壓力變送器采用 Setra 磚利的可變電容技術(shù)，配有
316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地
構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使
電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并基于磚利的電荷
平衡原理，通過 Setra *的定制集成電路將其轉(zhuǎn)換為高
精度的線性直流電信號。
Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于 Setra 成熟的電容傳
感技術(shù)制造，能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)
定的電壓或電流輸出信號。

▲
表壓、復(fù)合壓、絕壓可選
▲
PSI或BAR量程可選
▲
11/8"下法蘭安裝
Setra   的227型傳感器專用于當(dāng)今的300mm工具所要求的高密度、模塊式block
氣體棒和面板。227型1-1/8"的占地面積優(yōu)化了有價值的空間，其堅固的設(shè)計使
其非常適合那些要求長期穩(wěn)定性、高精度和對惡劣環(huán)境格外不敏感的壓力測量應(yīng)
用。
與其它具有較大死端空泡體積的設(shè)計不同，227型具有一個方便洗滌的小排量
傳感器艙。所有濕潤部件均為優(yōu)質(zhì)VAR316LSS材料，電解拋光至5Ra（10
max.）的終飾。每一個傳感器都經(jīng)質(zhì)譜儀進行過高達1x10-9atm.cc/sec的氦
滲漏試驗。
可選擇5VDC、10VDC或4-20mA輸出，227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%的讀數(shù)精度。227型配備了一個節(jié)省空間的11/8"C型密封件下安裝接口
底座，并可選擇多芯電纜、4針bayonet連接器和一個9針或15針D型連接器
用于電氣終端。加上327型的1-1/8"可旋轉(zhuǎn)顯示器，該產(chǎn)品包達到了壓力測量
及顯示的Ji致。
該*設(shè)計包括在旋轉(zhuǎn)保護蓋下面的側(cè)接近至零點及范圍調(diào)節(jié)，可選擇絕隊壓、
表壓或復(fù)合壓。
Setra   獲専利的可變電容傳感器的特點在于一個316L不銹鋼膜片和一個絕緣電Ji
板。在傳感器主體和電Ji板之間形成一個可變電容器。壓力的增加致使膜片略微
變圓，從而增加了電容。通過Setra   *的定制集成電路檢測電容值的變化，并
利用獲専利的電荷平衡原理將其轉(zhuǎn)換成高度精準的線性DC電信號。
Setra   的整個超高純系列均基于Setra   的被廣泛認可的電容傳感技術(shù)，高度精準和
穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號基本上可抑制電磁干擾/射頻干擾（EMI/RFI）。
應(yīng)用
●模塊式1-1/8"氣體棒和面板
●高純氣體傳輸系統(tǒng)
●半導(dǎo)體工藝工具
好處
■出色的穩(wěn)定性，可避免停機
■抗EMI/RFI功能防止假停機
■符合CE標準
UltraHighPurity(超高純應(yīng)用壓力傳感器)
我們提供所有Setra   產(chǎn)品的應(yīng)用幫助，其中包括人員幫助和文獻幫助，
而客戶有責(zé)任確定該產(chǎn)品的適用性。
227型的技術(shù)規(guī)格
性能數(shù)據(jù)
jing確RSS*（恒定溫度下）讀數(shù)±1.0%或±0.25%全量程
非線性，BFSL±0.15%全量程
滯后0.20%全量程
非重復(fù)性0.02%全量程
熱效應(yīng)**
補償范圍oF（℃）+15至+150（-9到+65）
零點漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
范圍漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
加熱漂移0.1%全量程
**在額定70oF下校驗過的設(shè)備。
根據(jù)此數(shù)據(jù)而計算的大溫度誤差。
環(huán)境數(shù)據(jù)
溫度
工作溫度*oF（℃）-40至+185（-40到+85）
儲存溫度oF（℃）-40至+185（-40到+85）
*工作溫度僅是電子設(shè)備的溫度Ji限。
受壓媒介的溫度可能要高或低很多。
物理描述
外殼不銹鋼
電氣連接182.88cm.多芯電纜，Bayonet
連接器或D-型連接器
壓力接頭下安裝“C”型密封
通風(fēng)通過零點和范圍接近孔
重量6.5oz（184g）
電氣數(shù)據(jù)（電壓）
電路3根導(dǎo)線（Exc、Out、Com）
激勵10至30VDC（5VFSO）
13至30VDC（10VFSO）
輸出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**
0至10VDC或0.2至10.2VDC**
電流消耗<8mA
*校準精度為50Kohm負荷，可操作5000ohm或更大的負荷。
**零點輸出的出廠設(shè)置在±25mV之內(nèi)（限5VDC輸出）
或±50mV（限10VDC輸出）。
**范圍（全量程）輸出的出廠設(shè)置在±25mV之內(nèi)
（限5VDC輸出）或±50mV（限10VDC輸出）。
電氣數(shù)據(jù)（電流）
電路2根導(dǎo)線
輸出*4至20mA**
外部負荷0至800Ohm
大電源電壓（VDC）=10+0.02x（接收器正Ji導(dǎo)線的電阻）。
大電源電壓（VDC）=30+0.004x（接收器正Ji導(dǎo)線的電阻）。
*出廠時以24VDC回路電壓和一個250ohm負荷，進行校準。
**零點輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA之內(nèi)。
**范圍（全量程）輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA之內(nèi)。
壓力媒介
與316L不銹鋼相兼容的液體或氣體。
產(chǎn)品規(guī)格如有變更，恕不另行通知。