一、簡(jiǎn)介
此閥門適用于超高真空系統(tǒng)中開斷管路，為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式。它具有工作平穩(wěn)，使用可靠、密封性能佳和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，是超高真空設(shè)備閥門之一。氣動(dòng)閥是以壓縮空氣為動(dòng)力開啟或關(guān)閉閥板，在失去氣源時(shí)，閥板將依靠彈簧力自動(dòng)關(guān)閉。閥門的介質(zhì)為空氣及少數(shù)腐蝕性氣體。
二、特點(diǎn)
• 標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化設(shè)計(jì)，易于更換及維修;
• 便于清潔的設(shè)計(jì);
• 軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無(wú)潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì);
• 閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小;
三、主要性能指標(biāo)
• 適用范圍：1×10-6pa～1.2×105Pa
• 打開時(shí)閥板上的壓差：≤1.2×105a任意方向
• 閥體和閥座漏率： <1.3×10-7Pa·L·s-1
• 保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：800，000次
• 閥體烘烤溫度：打開時(shí)≤200℃;關(guān)閉時(shí)≤150℃
• 安裝位置：任意
• 電源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W(特殊規(guī)格可定做)
• 壓縮空氣：0.4～0.7MPa
• 閥門開閉時(shí)間：≤1s
• 閥門位置指示：氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)：帶有啟閉位置指示開關(guān)(磁性開關(guān))
