德國suss公司的ma8光刻機(jī),兼容4、6、8英寸wafer,Led光源,3個(gè)獨(dú)立波長(zhǎng)(g、h、i),可自定義。可以提供正面和雙面套準(zhǔn)。
比起小型高壓汞燈光源,led光源無論是壽命,還是光強(qiáng),均勻性,可編程性等,都是超越性的。
接觸式光刻機(jī)的對(duì)準(zhǔn)精度都差不多,在500納米左右。
比起上一代ma6,電腦化程度大幅提升,沒有千分尺等手動(dòng)部件,全部通過馬達(dá)控制,帶有自動(dòng)套準(zhǔn)功能。
可以同時(shí)作為鍵合預(yù)對(duì)準(zhǔn)設(shè)備,配合suss鍵合機(jī)
很適合mems工藝的研發(fā)使用,或者也可以做小批量的生產(chǎn)