佳能i線步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-5550iZ2生產(chǎn)效率高，重疊精度高，能夠快速完成晶圓的測(cè)量和校準(zhǔn)，減少了晶圓處理的時(shí)間。
特征和優(yōu)勢(shì)
FPA-5550iZ2 步進(jìn)器在 i-line 光刻設(shè)備中提供的生產(chǎn)率和覆蓋精度
佳能在所有同等級(jí)別的 i-line 光刻設(shè)備中實(shí)現(xiàn)了*的生產(chǎn)力（吞吐量）。FPA-5550iZ2 步進(jìn)器優(yōu)化對(duì)準(zhǔn)、曝光和晶圓轉(zhuǎn)移序列，縮短晶圓批次交換時(shí)間并加快測(cè)量和校準(zhǔn)處理，以減少晶圓處理時(shí)間。
FPA-5550iZ2 步進(jìn)器可以應(yīng)用鏡頭形狀補(bǔ)償器（SSC 單元），以在每個(gè)曝光場(chǎng)內(nèi)實(shí)現(xiàn)垂直和水平放大率差異和歪斜（對(duì)角方向的鏡頭失真）的場(chǎng)內(nèi)校正。SSC 單元在投影光學(xué)系統(tǒng)中采用了的佳能技術(shù)，可以改進(jìn)與底層的匹配并提高疊加精度。
在同等級(jí)別的 i-line 步進(jìn)器中，截至 2016 年 12 月 14 日（佳能檢查）。與之前的 FPA-5550iZ 步進(jìn)機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)性能（曝光條件：300 mm 晶圓、96 次、1000 J/m2）相比，F(xiàn)PA-5550iZ2 的吞吐量提高了約 20%
FPA-5550iZ2 步進(jìn)器具有用于邏輯、存儲(chǔ)器和圖像傳感器制造的各種解決方案
提供平衡吞吐量和疊加精度的生產(chǎn)力和疊加改進(jìn)選項(xiàng)。為早期的 FPA-5550iZ 步進(jìn)器建立的彩色濾光片和其他對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)選項(xiàng)可實(shí)現(xiàn)各種工藝的穩(wěn)定操作和靈活性。
