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  • 佳能二手翻新步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-3030EX6，用于物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備

佳能二手翻新步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-3030EX6，用于物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備

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  • 更新時(shí)間2022-05-27
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限第1年
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值8621
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公司主營實(shí)驗(yàn)室分析檢測儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院，美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營管理，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
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佳能半導(dǎo)體光刻設(shè)備-步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-3030EX6，專用于物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備的KrF光刻機(jī)，分辨率達(dá)到150nm，可用電腦進(jìn)行遠(yuǎn)程操控
佳能二手翻新步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-3030EX6，用于物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備 產(chǎn)品詳情

佳能半導(dǎo)體光刻設(shè)備-步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-3030EX6，專用于物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備的KrF光刻機(jī)，分辨率達(dá)到150nm，可用電腦進(jìn)行遠(yuǎn)程操控。

佳能二手光刻機(jī)FPA-3030EX6

特點(diǎn)與優(yōu)勢：

FPA-3030EX6步進(jìn)器兼容多種特殊基板&小尺寸基板

FPA-3030EX6 配備與經(jīng)過驗(yàn)證的 FPA-3030i5+ i-line 步進(jìn)機(jī)相同的晶圓進(jìn)給系統(tǒng)，支持處理用于制造物聯(lián)網(wǎng)和功率設(shè)備的各種材料、尺寸和厚度的基板。

FPA-3030EX6 在 KrF 準(zhǔn)分子激光步進(jìn)器中提供的性能

繼承了前代型號 FPA-3000EX6 步進(jìn)機(jī)的性能，在同級別的 KrF 準(zhǔn)分子激光步進(jìn)機(jī)中實(shí)現(xiàn)了別的分辨率（150 nm）、重疊精度（25 nm）和生產(chǎn)率（吞吐量*121 wph）。

200 毫米（8 英寸）晶圓，60 次

FPA-3030EX6 步進(jìn)器與 FPA-3000EX6 標(biāo)線和配方兼容

與 FPA-3000EX6 標(biāo)線和配方的兼容性允許有效使用現(xiàn)有設(shè)施和資產(chǎn)。

規(guī)格參數(shù)

解析度
≦ 150 納米
NA（數(shù)值孔徑）
0.65～0.50（可變）
減速比
1:5
字段大小
22 毫米 x 22 毫米
曝光波長
KrF 248 納米
光罩尺寸
6英寸
晶圓尺寸
100 毫米（4 英寸）、125 毫米（5 英寸）、150 毫米（6 英寸）、200 毫米（8 英寸）（選擇）
疊加精度
≦ 25 納米
主要選項(xiàng)
用于特殊基板的晶圓處理套件
PC 遠(yuǎn)程控制臺
GEM 兼容在線軟件
Pellicle Particle Checker
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