佳能二手翻新光刻機(jī)KrF掃描儀FPA-6300ES6a-儀表網(wǎng)

公司介紹主營產(chǎn)品

公司主營實(shí)驗(yàn)室分析檢測儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院，美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營管理，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、水質(zhì)在線分析儀（WAOL）；

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

佳能半導(dǎo)體光刻設(shè)備，高分辨率/高生產(chǎn)率KrF掃描儀FPA-6300ES6a二手翻新現(xiàn)貨優(yōu)勢特點(diǎn)：FPA-6300ES6a掃描儀提供高生產(chǎn)力通過使用新設(shè)計(jì)的ReticleWaferStages加速曝光過程，通過改進(jìn)對齊順序和減少晶圓處理時(shí)間來縮短處理時(shí)間

佳能二手翻新光刻機(jī)KrF掃描儀FPA-6300ES6a 產(chǎn)品詳情

佳能半導(dǎo)體光刻設(shè)備，高分辨率/高生產(chǎn)率 KrF 掃描儀FPA-6300ES6a 二手翻新現(xiàn)貨

佳能二手翻新光刻機(jī)KrF掃描儀FPA-6300ES6a

優(yōu)勢特點(diǎn)：

FPA-6300ES6a 掃描儀提供高生產(chǎn)力

通過使用新設(shè)計(jì)的Reticle& Wafer Stages加速曝光過程，通過改進(jìn)對齊順序和減少晶圓處理時(shí)間來縮短處理時(shí)間。FPA-6300ES6a 的吞吐量超過 200 wph（每小時(shí)晶圓），是之前的FPA-6000ES6a型號掃描儀的 1.6 倍。

FPA-6300ES6a 掃描儀實(shí)現(xiàn)行業(yè)的疊加精度

為了限度地減少曝光期間的重疊錯(cuò)位和場內(nèi)失真，F(xiàn)PA-6300ES6a采用了*的平臺振動和同步控制技術(shù)。對準(zhǔn)范圍也得到改進(jìn)，以便更準(zhǔn)確地測量晶片上的對準(zhǔn)標(biāo)記。
此外，通過精確控制曝光區(qū)域和光罩區(qū)域的溫度，實(shí)現(xiàn)了業(yè)界的≤5nm的Mix&Match疊加精度。

FPA-6300ES6a 掃描儀提供高可靠性

與早期的 FPA-6000 平臺掃描儀相比，F(xiàn)PA-6300ES6a平臺在基本耐用性和維護(hù)要求方面提供了顯著改進(jìn)，并減少了安裝時(shí)間并增加了系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間和可用性。FPA-6300ES6a選項(xiàng)和升級進(jìn)一步提高了覆蓋精度和生產(chǎn)力，提供可擴(kuò)展性以支持下一代半導(dǎo)體制造。

參數(shù)規(guī)格

解析度: ≦ 90 納米

NA（數(shù)值孔徑）: 0.86~0.50（可變）

減速比: 1:4

字段大小: 26 毫米 x 33 毫米

曝光波長: KrF 248 納米

光罩尺寸: 6英寸

晶圓尺寸: 200 毫米（8 英寸）、300 毫米（12 英寸）（選擇）

疊加精度: ≦ *5 納米

主體尺寸: (W) 2,300 x (D) 5,155 x (H) 2,900 毫米

主要選項(xiàng): 各種混合和匹配疊加改進(jìn)選項(xiàng)
各種吞吐量改進(jìn)選項(xiàng)
各種 CD 均勻性改進(jìn)選項(xiàng)
聚焦精度改進(jìn)選項(xiàng) (F-MAP)
聚焦點(diǎn)自動卡盤清潔
各種生產(chǎn)力改進(jìn)選項(xiàng)
AFIS照明系統(tǒng)
SMIF OHT套件
PC 遠(yuǎn)程控制臺
GEM 兼容在線軟件
Pellicle Particle檢查器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
便攜式多參數(shù)食品安全快速檢測儀	面議	常州市	常州金壇泰納儀器廠	2024-08-29	在線詢價(jià)
多通道食品安全綜合檢測儀器	面議	濰坊市	山東霍爾德電子科技有限公司	2024-11-17	在線詢價(jià)
食品安全快速檢測儀(八合一)	面議	北京市	北京西潤斯儀器儀表有限公司	2024-05-11	在線詢價(jià)
多功能食品安全快速檢測儀原理	￥6300	濰坊市	山東萊恩德智能科技有限公司	2024-12-26	在線詢價(jià)
膠體金食品安全檢測儀	面議	長治市	山西信偉慧誠科技有限公司	2024-12-04	在線詢價(jià)
多參數(shù)食品安全快速檢測儀（50參數(shù)）	面議	北京市	北京亞歐德鵬科技有限公司	2018-03-14	在線詢價(jià)

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