尼康Nikon ArF掃描光刻機(jī)NSR-S322F裝載了在液浸式裝置中取得優(yōu)秀業(yè)績的Streamlign Platform,同時進(jìn)一步提高了重合精度與生產(chǎn)效率。滿足了客戶對生產(chǎn)線實現(xiàn)高精度與穩(wěn)定量產(chǎn)的需求。
主要特點:
●Bird’s Eye Control重合精度的大幅度提高
? 通過高精度編碼器與以往的干涉儀構(gòu)成的混合系統(tǒng),實現(xiàn)了最佳工作臺性能
? 除了*的對焦控制外,精度與穩(wěn)定性也得到大幅度改善
? 重合精度提高達(dá)到 2 nm 以下
● Stream Alignment同時實現(xiàn)了高產(chǎn)出與高重合精度
· 通過大幅擴(kuò)大了光束跨距的“直線自動對焦”,一次性映射在晶圓表面,提高了對焦控制精度
· FIA 實現(xiàn) 5 眼觀測,確保了生產(chǎn)效率的同時也增加了對準(zhǔn)測量點數(shù)
· 大幅縮短了操作晶圓的時間
· 實現(xiàn)了產(chǎn)出達(dá)每小時 230 片以上的性能
●Modular2 Structure實現(xiàn)了可迅速進(jìn)行量產(chǎn)
·模塊設(shè)計使維護(hù)更簡單
· 除了模塊設(shè)計外,還能更換更為細(xì)小的零件,因此不僅可維護(hù)性大幅提高,運(yùn)轉(zhuǎn)率也得到提高
·具有高度可擴(kuò)展性的平臺設(shè)計,可在不同系列的裝置中使用