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  • 尼康Nikon 二手ArF液浸式掃描光刻機(jī)NSR-S622D

尼康Nikon 二手ArF液浸式掃描光刻機(jī)NSR-S622D

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-05-27
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限第1年
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值8940
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公司主營實(shí)驗(yàn)室分析檢測儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計院，美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營管理，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、水質(zhì)在線分析儀（WAOL）；
 

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支持多重曝光、實(shí)現(xiàn)了超高精度與高產(chǎn)出的ArF液浸式掃描光刻機(jī)ArF液浸式掃描光刻機(jī)NSR-S622DArF液浸式掃描光刻機(jī)NSR-S622D專為20nm以下制程的量產(chǎn)而開發(fā)，且采用了StreamlignPlatform
尼康Nikon 二手ArF液浸式掃描光刻機(jī)NSR-S622D 產(chǎn)品詳情

支持多重曝光、實(shí)現(xiàn)了超高精度與高產(chǎn)出的ArF液浸式掃描光刻機(jī)ArF液浸式掃描光刻機(jī) NSR-S622D

ArF液浸式掃描光刻機(jī)NSR-S622D專為20 nm以下制程的量產(chǎn)而開發(fā)，且采用了Streamlign Platform。在維持了NSR-S621D的高產(chǎn)出的同時，提高了投影鏡頭的性能與自動對焦功能，從而實(shí)現(xiàn)了小于3.5 nm且支持多重曝光的光刻機(jī)間的重合精度(MMO : Mix and Match Overlay)。有助于設(shè)備量產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。

Nikon ArF液浸式掃描光刻機(jī)NSR-S622D

特點(diǎn)：

Bird's Eye Control重合精度的大幅度提高

通過高精度編碼器與以往的干涉儀構(gòu)成的混合系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了工作臺的性能

除了*的對焦控制外，精度與穩(wěn)定性也得到大幅度改善·實(shí)現(xiàn)了重合精度2nm以下的性能

Stream Alignment同時實(shí)現(xiàn)了高產(chǎn)出與高重合精度

通過大幅擴(kuò)大光束跨距的“直線自動對焦”，一次性映射在晶圓表面，提高了對焦控制精度

FIA實(shí)現(xiàn)5眼觀測，確保了生產(chǎn)效率的同時也增加了對準(zhǔn)測量點(diǎn)數(shù)

犬幅縮短了操作晶圓的時間

實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)出達(dá)每小時200片以上的性能Modular2 Structure

實(shí)現(xiàn)了可迅速進(jìn)行量產(chǎn)·模塊設(shè)計使維護(hù)更簡單

除了模塊設(shè)計外，還能更換更為細(xì)小的零件，因此不僅可維護(hù)性大幅提高，運(yùn)轉(zhuǎn)率也得到提高

具有高度可擴(kuò)展性的平臺設(shè)計，可在不同系列的裝置中使用

Nikon 光刻機(jī)NSR-S622D 參數(shù)表

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