Nikon分步投影光刻機NSR-S204B，用于集成電路生產(chǎn)過程中的微光刻工藝，通過投影成像方式，把掩模版上集成電路圖形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重復(fù)曝光在涂有膠層的硅片表面。
Nikon分步投影光刻機NSR-S204B含有硅片自動傳輸系統(tǒng)、版庫自動管理系統(tǒng)、可編程掩模光欄、自動調(diào)焦調(diào)平、硅片自動對準、掩模板自動對準、鏡頭倍率及焦點自動控制、曝光能量的自動補整、腔體溫度環(huán)境控制、故障顯示報警等*功能。
NSR-S204B型分步投影光刻機基本工作過程：把曝光掩模和硅片分別裝入掩模庫和硅片承載臺以后；通過操作設(shè)備的控制系統(tǒng)，使設(shè)備按照所需設(shè)定的制作程序自動完成掩模、硅片的傳遞交換，并根據(jù)生產(chǎn)工藝需要進行自動對準、自動調(diào)焦調(diào)平、自動掃描曝光等工作過程。
運輸與保管
Nikon分步投影光刻機NSR-S204各部分重量：主機重量（凈重）7200Kg，溫調(diào)柜重量860Kg，傳送腔體重量850Kg，空調(diào)機重量650Kg，控制柜重量300Kg，BMU重量180Kg，變壓器重量160Kg
運輸Nikon分步投影光刻機NSR-S204方式：采用半導(dǎo)體專用設(shè)備減震車運輸。
Nikon分步投影光刻機NSR-S204對環(huán)境要求：溫度控制在19～24℃之間，濕度小于70%。
用戶在收到Nikon分步投影光刻機NSR-S204及其附件后，應(yīng)即刻運送存放在滿足溫度、濕度要求的廠房內(nèi)，切勿露天或在溫濕度不受控的環(huán)境存放。
在運輸Nikon分步投影光刻機NSR-S204過程中，應(yīng)避免沖擊和震動，輕搬輕放。嚴格要求具有防振、減震措施，搬運過程中振動不大于1G。
