ASML二手KrF曝光機,光刻機現(xiàn)貨由青島佳鼎分析儀器有限公司提供,除此之外,我們的技術(shù)團隊還支隊對光刻機的技術(shù)改造和方案對接。
我們的優(yōu)勢:
ASML和NIKON光刻機的翻新改造、安裝調(diào)試及維護的核心技術(shù)能力。國內(nèi)完成過ArF, KrF, I Line, G Line全部光刻機工程案例的團隊。
針對12英寸及以下的不同尺寸(包括硅、碳化硅、氮化鎵、 藍寶石等)、不同掩模版尺寸的要求,可實現(xiàn)自主設(shè)計、 加工制造、集成調(diào)整的改造能力。
能夠進行包括光學(xué)系統(tǒng)在內(nèi)的全面翻新、調(diào)試、測試, 具備完整的運行保障能力,和備品備件的供應(yīng)。
針對不同產(chǎn)品(如MEMS、MICROLED、DMOS、CMOS 等),具備的工藝人才和技術(shù)基礎(chǔ),能夠針對不同的 產(chǎn)品特性進行設(shè)備選型、技術(shù)匹配及工藝試驗。