便攜式三氟化氮檢測(cè)儀 LBN301 | ||||||||||||||||||
便攜式三氟化氮檢測(cè)儀 LBN301 詳細(xì)說(shuō)明:
便攜式三氟化氮檢測(cè)儀 LBN301主要應(yīng)用于對(duì)三氟化氮?dú)怏w的泄漏進(jìn)行檢測(cè)。三氟化氮是一種工業(yè)特種氣體,其主要用作推進(jìn)劑(火箭)、氯化劑、電子氣、等離子蝕刻及用于摻雜激光、光導(dǎo)纖維。尤其是在目前發(fā)展較快的微電子領(lǐng)域,它可以作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,對(duì)硅和氧化硅蝕刻,采用三氟化氮比四氟化碳和氧氣的混合氣體具有更高的蝕刻交率和選擇性,而且對(duì)表面無(wú)污染,在被蝕刻物表面不留任何殘留物質(zhì),同時(shí)也是非常良好的清洗劑。
三氟化氮?dú)怏w的危害 三氟化氮是一種毒性物質(zhì),但是它能強(qiáng)列刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜,腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長(zhǎng)期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼,使牙齒生黃斑,骨骼成畸形。 具有強(qiáng)氧化性。與還原劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng),引起燃燒爆炸。與易燃物(如苯)和有機(jī)物(如糧、纖維素等)接觸會(huì)發(fā)生劇烈反應(yīng),甚至引起燃燒。受高熱發(fā)生劇烈分解,甚至發(fā)生爆炸。在大氣中的容許濃度:10PPM(29mg/m3)。
便攜式三氟化氮檢測(cè)儀 LBN301特點(diǎn):
主要技術(shù)指標(biāo):
使用條件: 工作環(huán)境:-20~+50度 濕度:大于20%RH 小于 95%RH(無(wú)凝露) 供電:自帶充電鋰電池供電,配專(zhuān)用充電器充電。
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