- PSL系列標(biāo)準(zhǔn)粒子制造系統(tǒng)
集成型號 PSL-SPMS2
近年來，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)的飛速發(fā)展，對原材料的管理、制造環(huán)境的管理、潔凈車間的管理等過程控制對產(chǎn)品制造的直接影響越來越得到深度關(guān)注。
另一方面，醫(yī)療、環(huán)境環(huán)保領(lǐng)域，顆粒狀物質(zhì)對人體的影響逐步認(rèn)知之后，醫(yī)療制品的清潔度管理和大氣環(huán)境微粒子污染檢查、微粒子監(jiān)測與檢測的必要性不斷提高。
上述背景下，生產(chǎn)環(huán)境的清潔度管理，微粒子檢測和監(jiān)測、檢測儀器校正和性能測試，各種環(huán)境試驗過程中免不了使用納米級到微米級范圍內(nèi)的微粒，PSL標(biāo)準(zhǔn)粒子成為各大用戶首要選擇的必要標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)?，F(xiàn)在聚苯乙烯球（PSL）系列標(biāo)準(zhǔn)粒子使用非常廣泛。
標(biāo)準(zhǔn)粒子的應(yīng)用范圍：
1、微粒子技術(shù)裝置的校正
（氣相微粒子計數(shù)器、液相微粒子計數(shù)器）
2、表面檢查裝置
如 硅片表面檢查、玻璃基板檢查
3、濁度標(biāo)準(zhǔn)
濁度計校正
4、濾膜過濾性能檢定
液體用濾膜、氣體用濾膜檢定中使用
5、可視化技術(shù)
半導(dǎo)體行業(yè)硅片表面粒子的可視化
6、臨床檢查
血液細(xì)胞的檢查、熒光粒子的制作等
7、生物健康影響評價
評價暴露健康影響實驗等
目前同一粒徑范圍（單分散）的PSL粒子大量生產(chǎn)的方法目前很多研究所和企業(yè)已經(jīng)掌握，但PSL標(biāo)準(zhǔn)粒子的真正設(shè)計流程和操作部分的動態(tài)設(shè)計非常復(fù)雜，其設(shè)計理論還沒有一般公開化！現(xiàn)我公司提供比較成熟且認(rèn)可的PSL標(biāo)準(zhǔn)粒子制造系統(tǒng)和技術(shù)流程。
一、PSL標(biāo)準(zhǔn)粒子制造工藝
PSL標(biāo)準(zhǔn)粒子的一般的制造過程如Fig.1所示。制造過程包括合成、精制、檢測，調(diào)整等4個階段。聚苯乙烯物理化學(xué)性質(zhì)如Table1所示、目前PSL標(biāo)準(zhǔn)粒子的相關(guān)特性要求如Table2所示。制造標(biāo)準(zhǔn)粒子的時候必須參照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)（國內(nèi)GB標(biāo)準(zhǔn)，目前有無？？）和國際通用的標(biāo)準(zhǔn)粒子比對溯源。一般制造不同粒徑標(biāo)準(zhǔn)粒子時，可以參照national institute of standards and technology（NIST）公司的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（Standard reference material）如SRM1964、SRM1963，也可以參考日本JCR公司標(biāo)準(zhǔn)品等等。
二、PSL工藝系統(tǒng)設(shè)備
No 系統(tǒng)組成及主要功能 1.粒子合成 PSL標(biāo)準(zhǔn)粒子合成系統(tǒng)（有效容積1L）
（該系統(tǒng)是由微反應(yīng)器、攪拌電機、均質(zhì)電機、溫度傳感器、蠕動泵、反應(yīng)氣氛調(diào)節(jié)等多個部分構(gòu)成，具有溫度調(diào)節(jié)功能、攪拌功能、均質(zhì)功能、備用接口、氮氣置換功能、精密給功能等）
為了分析PSL標(biāo)準(zhǔn)粒子的分子量和結(jié)構(gòu)建議單位配制凝膠色譜儀（GPC）或者核磁共振波譜儀（NMR）；2.粒子精制 PSL標(biāo)準(zhǔn)粒子精制系統(tǒng)
（該部分系統(tǒng)主要是由滲析精制系統(tǒng)、高速離心系統(tǒng)，蒸發(fā)干燥系統(tǒng)等組成，主要功能是通過滲析精制系統(tǒng)去除雜質(zhì)和未反應(yīng)*的物質(zhì)去除精制、高速離心系統(tǒng)是分離PSL粒子和水的混合液，噴霧干燥系統(tǒng)防止PSL標(biāo)準(zhǔn)粒子*情況下蒸發(fā)或噴霧干燥）
3.粒徑檢測 PSL粒子粒徑檢測系統(tǒng)
（此部分主要分析制備的PSL粒子混合液的粒徑分布；分析CV值、正態(tài)分布特性、以及不確定度的分析，為制備出的粒子進行全面的評價）
使用的設(shè)備為馬爾文粒徑譜儀來實現(xiàn)部分上述內(nèi)容4.粒子配制 PSL配制特定粒徑的標(biāo)液
（此過程中需要檢測，要檢測標(biāo)準(zhǔn)粒子分散液中PSL粒子的重量（蒸發(fā)水分）；粒子的數(shù)量濃度需要SEM觀察評價，直接讀出，制備出個數(shù)濃度的標(biāo)準(zhǔn)液。）標(biāo)注相關(guān)粒徑特性；
為了配制過程中防止交叉污染，使用的容器和包裝方法等不包含在內(nèi)。
