新型的 Pura Plus在線微量濕度異動變送器 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的*新需求變化而特殊設(shè)計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器,多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)*末端,用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜,涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后,會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入,影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus在線微量濕度異動變送器能夠提供快速的響應(yīng)指示,在 20 ppb 濕氣級別下 1 ppb 的異動的響應(yīng)時間小于1 分鐘。
Pura Plus在線微量濕度異動變送器亮點
- 對 ppb 級別濕度異動的快速響應(yīng)
- 低濕 ppb 級別的靈敏度 (<1 ppb)
- 多點測量安裝的全新概念
- 維護(hù)要求低
- 信號燈式的狀態(tài)指示
- 可設(shè)置警告和報警點
- Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容
- 遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件
- (UHP) 超純氣體的管線檢測
Pura Plus在線微量濕度異動變送器
Pura Plus在線微量濕度異動變送器技術(shù)指標(biāo) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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