中國激光干涉儀SJ6000的靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。
如數(shù)控機床在裝配完成后，其定位精度一般是達不到出廠標(biāo)準要求的，單純靠提高零件加工精度，或者提高裝配質(zhì)量來保證機床精度，將增加制造成本，而使用數(shù)控系統(tǒng)的“螺距誤差補償”功能，對數(shù)控機床的誤差進行補償，是一種即有效又經(jīng)濟的方法，SJ6000激光干涉儀可以精確的進行誤差測量和補償。
產(chǎn)品功能
1.可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
2.可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
3.可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；
4.可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
5.具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
6.支持手動或自動進行環(huán)境補償。
性能特點
1.集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；
2.采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；
3.采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；
4.采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；
5.采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>
中國激光干涉儀SJ6000采用氦氖激光器作為光源。其精度高，抗擾力強，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點。
