超小型真空チャンバー
MJ-8Dは、機(jī)上での測定を簡便に、安価に行えるよう開発された、超小型真空チャンバーです。重量約4.5Kgと軽く、巾280ｍｍ、奧行き244ｍｍ、高さ65mm（ゴム足を含む）と非常にコンパクトなため、測定場所を簡単に移動でき、スペースを取らず、どこにでも設(shè)置できます。
プローブは、外部より操作のできるポジショナーにより、真空中でもXYZ方向の操作が可能です。本體はシールド効果が高く、光やノイズをシャットアウトし、微小電流の測定に威力を発揮します。シリーズ品として、お客様のニーズに合わせ、光透過型、ステージ可動型、冷?加溫、溫度コントロール型等、數(shù)々の特殊品にも対応いたしておりますのでご相談ください。また、オプション品も多數(shù)用意をし、お客様の利便性向上を図っておりますのでご用命ください。
MJ-8D標(biāo)準(zhǔn)型基本仕様
外形寸法、重量 | 280W×244D×65H ※1、約4.5Kg |
チャンバー外形寸法＆內(nèi)容積 | 116φ×35H、0.1L |
ステージ寸法 | 20mm×20mm |
チャンバー內(nèi)真空度 | 1.333×10－3 Pa（10－5 Torr） ※2 |
チャンバー材質(zhì) | アルミニュウム |
外部操作型ポジショナ外形寸法 ※3 | 型式UMC-2P：65W×160L×45H |
粗調(diào) | X：左右各5mm、Y：6ｍｍ |
微調(diào) | X：5ｍｍ、Y：5ｍｍ、Z：3ｍｍ |
精密針（タングステン材） | W25-05-10×11/2、先端25μR |
真空引き口 | NW25 |
付帯部品 | メインバルブ：22028-KA01、リーク／ガス置換弁（1/4″） |
※1：高さはゴム足を含む。
※2：真空度は排気裝置に依存します。
※3：記載寸法は単體時の寸法です。
※4：プローブホルダー先端、XZ方向の移動量は円弧運(yùn)動となります。
