NMC-4000 MOVPE設(shè)備-儀表網(wǎng)

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月，是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國大陸，香港，中國臺灣和澳門)的客戶，同時(shí)我們在中國大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室，提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。

那諾-馬斯特中國的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國，該公司是法國那諾-馬斯*限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司，是一家國際前列的缺陷檢測和高速鍍層測量的計(jì)量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。

自2001年Nano-Master開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備，正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺、組合濺)，熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)，離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為國際薄膜設(shè)備的供應(yīng)商，已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國家的大學(xué)、研發(fā)中心和國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。

我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)工程師、技術(shù)支持人員，使得公司擁有專業(yè)的服務(wù)團(tuán)隊(duì)。作為薄膜工藝的設(shè)備提供商，我們的目標(biāo)是提供高品質(zhì)的服務(wù)并始終維持超高水平的集成度。

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	進(jìn)口	加工定制	是

NMC-4000 MOVPE設(shè)備：針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PA-MOCVD）,該系統(tǒng)具有5個(gè)鼓泡裝置（各帶獨(dú)立的冷卻槽）、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個(gè)氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵（5 x 10-7Torr極限真空）、PC全自動控制，*的安全

NMC-4000 MOVPE設(shè)備產(chǎn)品詳情

NMC-4000 MOVPE設(shè)備概述：

MOVPE，也就是大名鼎鼎的MOCVD(金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積), 針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路、5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、950度樣品臺三個(gè)氣體環(huán)、PC全自動控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)，*的安全互鎖。

目前，NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

NMC-4000 MOVPE設(shè)備產(chǎn)品特點(diǎn)：

臺式系統(tǒng)
5個(gè)帶獨(dú)立冷卻槽的起泡器
加熱的氣體管路
950 °C樣品臺，2"晶圓片
3個(gè)氣體環(huán)
RF等離子源，帶淋浴頭氣體分布
工藝完成后N2自動沖洗
極限真空5x10-7Torr
250 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動控制
菜單驅(qū)動，4級密碼訪問控制
完整的安全聯(lián)鎖

配置：

獨(dú)立系統(tǒng)
14"不銹鋼立方體腔體
1次在8"樣品臺上處理1個(gè)6"晶圓片或在12"樣品臺上處理5片4"片子
加熱的氣體管路
RF等離子源，自動調(diào)諧
淋浴頭氣體分布
1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺
N2沖洗
手動或自動的晶圓片上下載
可以兼容到集群配置中

應(yīng)用：

3到5族半導(dǎo)體層
藍(lán)色發(fā)光二極管
激光二極管
紫外-可見光譜光電中的氮化銦納米棒
3D或2D材料中的二硫化鉬、氮化硼、石墨烯

關(guān)鍵詞：真空泵發(fā)光二極管激光二極管

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產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
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