概述
這類閥是軟啟動的氣動操作管線閥，帶有可更換的孔板，可為湍急氣流會導(dǎo)致微粒污染問題的制程提供受控的制程抽氣。
隨動閥和主閥的組合使得初始泵送可以緩慢進行，以盡可能減少干擾。隨動閥和主閥都需要單獨的氣動連接。
應(yīng)用
- 當(dāng)隨動閥打開時，氣流以較低流速在閥的兩側(cè)間流過可更換孔板，實現(xiàn)慢抽速。達到用戶的預(yù)定義壓力級別后，主閥門會根據(jù)用戶提供的信號打開，實現(xiàn)全通徑泵送。
波紋管密封的閥門單向執(zhí)行，采用氣動打開，彈簧封閉。產(chǎn)品隨附三個可更換孔板，以使泵的性能符合您的制程需要。標準配置中包含一個微開關(guān)，用于指示閥門狀態(tài)。閥門和微開關(guān)都可以加熱到 100°C 以加速脫氣，防止制程氣體在閥門內(nèi)冷凝。
盡管閥門主要設(shè)計用于半導(dǎo)體行業(yè)，但也可以用在其他需要受控抽氣的應(yīng)用中。
功能和優(yōu)勢
- 平均*時間可達 5000000 個循環(huán)
- 抽氣受控制以適合相關(guān)制程
- 鋁閥體
- 在斷電時閥可以快速反應(yīng)
- 供貨時帶有 5 mm、6 mm 和 7 mm 可更換孔板
- 采用波紋管密封以清潔操作
- 孔板可更換，維護方便
- 可加熱到 100 °C 以防制程氣體冷凝
數(shù)據(jù)
| 閥門執(zhí)行類型 | 單向執(zhí)行，氣動打開，彈簧關(guān)閉 |
| 壓力范圍 | 1 x 10-9 至 2100 mbar |
| 8 x 10-10 至 1575 Torr | |
| 大壓力差 | |
| 打開 | 1000 mbar/750 Torr |
| 關(guān)閉 | 2100 mbar/1575 Torr |
| 泄漏值 | 10-9 mbar ls- 1 |
| 10-10 Torr ls- 1 | |
| 氣動連接器 | Rp 1/8（1/8 英寸 BSP） |
| 氣動工作壓力 | 2.8 至 4.2 bar/41 至 61 psi |
| 電氣指示器 | 單個微開關(guān) |
| 微開關(guān)電氣額定值 | 24 V，1.5 A 交流或直流 |
| 大循環(huán)頻率 | 900 h-1 |
| 波紋管性，MTTF | 5000000 循環(huán) |
| 工作環(huán)境溫度 | 5 - 100 °C |
| 高加熱溫度 | 100 °C |
| 構(gòu)造材料 | HE30TF 鋁 |
| O 型圈 | 氟橡膠 |
| 4 bar 時的打開/關(guān)閉時間 (ms) | SIPV25P |
| 隨動閥 | 60/20 |
| 主閥 | 15/41 |
| 重量 (g/oz) | |
| SIPV25P | 920 / 32 |
配有可選控制閥
