概述
這類閥是軟啟動(dòng)的氣動(dòng)操作管線閥，帶有可更換的孔板，可為湍急氣流會(huì)導(dǎo)致微粒污染問(wèn)題的制程提供受控的制程抽氣。
隨動(dòng)閥和主閥的組合使得初始泵送可以緩慢進(jìn)行，以盡可能減少干擾。隨動(dòng)閥和主閥都需要單獨(dú)的氣動(dòng)連接。
應(yīng)用
- 當(dāng)隨動(dòng)閥打開(kāi)時(shí)，氣流以較低流速在閥的兩側(cè)間流過(guò)可更換孔板，實(shí)現(xiàn)慢抽速。達(dá)到用戶的預(yù)定義壓力級(jí)別后，主閥門會(huì)根據(jù)用戶提供的信號(hào)打開(kāi)，實(shí)現(xiàn)全通徑泵送。
波紋管密封的閥門單向執(zhí)行，采用氣動(dòng)打開(kāi)，彈簧封閉。產(chǎn)品隨附三個(gè)可更換孔板，以使泵的性能符合您的制程需要。標(biāo)準(zhǔn)配置中包含一個(gè)微開(kāi)關(guān)，用于指示閥門狀態(tài)。閥門和微開(kāi)關(guān)都可以加熱到 100°C 以加速脫氣，防止制程氣體在閥門內(nèi)冷凝。
盡管閥門主要設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體行業(yè)，但也可以用在其他需要受控抽氣的應(yīng)用中。
功能和優(yōu)勢(shì)
- 平均*時(shí)間可達(dá) 5000000 個(gè)循環(huán)
- 抽氣受控制以適合相關(guān)制程
- 鋁閥體
- 在斷電時(shí)閥可以快速反應(yīng)
- 供貨時(shí)帶有 5 mm、6 mm 和 7 mm 可更換孔板
- 采用波紋管密封以清潔操作
- 孔板可更換，維護(hù)方便
- 可加熱到 100 °C 以防制程氣體冷凝
數(shù)據(jù)
| 閥門執(zhí)行類型 | 單向執(zhí)行，氣動(dòng)打開(kāi)，彈簧關(guān)閉 |
| 壓力范圍 | 1 x 10-9 至 2100 mbar |
| 8 x 10-10 至 1575 Torr | |
| 大壓力差 | |
| 打開(kāi) | 1000 mbar/750 Torr |
| 關(guān)閉 | 2100 mbar/1575 Torr |
| 泄漏值 | 10-9 mbar ls- 1 |
| 10-10 Torr ls- 1 | |
| 氣動(dòng)連接器 | Rp 1/8（1/8 英寸 BSP） |
| 氣動(dòng)工作壓力 | 2.8 至 4.2 bar/41 至 61 psi |
| 電氣指示器 | 單個(gè)微開(kāi)關(guān) |
| 微開(kāi)關(guān)電氣額定值 | 24 V，1.5 A 交流或直流 |
| 大循環(huán)頻率 | 900 h-1 |
| 波紋管性，MTTF | 5000000 循環(huán) |
| 工作環(huán)境溫度 | 5 - 100 °C |
| 高加熱溫度 | 100 °C |
| 構(gòu)造材料 | HE30TF 鋁 |
| O 型圈 | 氟橡膠 |
| 4 bar 時(shí)的打開(kāi)/關(guān)閉時(shí)間 (ms) | SIPV40P |
| 隨動(dòng)閥 | 60/20 |
| 主閥 | 50/155 |
| 重量 (g/oz) | |
| SIPV40P | 1760 / 62 |
配有可選控制閥
