Agilent HP4155B半導(dǎo)體參數(shù)分析儀
Agilent HP4155B半導(dǎo)體參數(shù)分析儀Agilent /HP4155C 蔣S
Agilent 4155B是新一代精密半導(dǎo)體器件參數(shù)分析儀。它擁有*佳的數(shù)字掃描參數(shù)分析儀,可靠的測(cè)試儀,強(qiáng)有力的故障,分析工具,自動(dòng)檢查設(shè)施;幸免綜合至同參儀器中。
新產(chǎn)品的設(shè)計(jì)目標(biāo)清楚地瞄準(zhǔn)為亞微米幾何尺寸器件評(píng)估提供前所未見(jiàn)的精度和功能。它是一種可靈活使用的儀器,無(wú)疑對(duì)從材料評(píng)價(jià)至器件性牟的表征,乃至*后封裝等各個(gè)階段的部分檢查和現(xiàn)場(chǎng)故障分析可提供諸多應(yīng)用,以改進(jìn)半導(dǎo)體器件的質(zhì)量。
正確方案的抉擇
Agilent 4155B設(shè)有四個(gè)內(nèi)置源/監(jiān)測(cè)單元(SMU),兩個(gè)電壓?jiǎn)卧?/span>VSU),兩個(gè)電壓監(jiān)測(cè)單元(VMU),對(duì)于具有非開(kāi)氏連接的基本半導(dǎo)體連接,4155B可謂是*佳選擇,分辨為10fA/1μV測(cè)量范圍為100mA/100V。
任何時(shí)候,均可增添41501B SMU和脈沖發(fā)生器擴(kuò)展器。它由0V/1.6A接地單元饋送可擴(kuò)展接收兩100mA/100V SMU或一個(gè)1A/200V SMU和兩上同步40V/1μs脈沖發(fā)生器。譚艷飛(總經(jīng)理)—蔣S(特助)
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設(shè)定和測(cè)量
Agilent 4155B可使用許多測(cè)量單元,包括Agilent 41501B做階梯,脈沖掃描測(cè)量,采樣(時(shí)域)測(cè)量,而無(wú)需變動(dòng)連接。進(jìn)而,對(duì)于可靠性評(píng)估還可做應(yīng)力循環(huán)測(cè)量,例如熱載流子的注入和快速EEPROM測(cè)評(píng)。
可通過(guò)前面板鍵,鍵盤,或GPIB(SCPI命令)多種途徑通過(guò)設(shè)置頁(yè)面和添入空格進(jìn)行設(shè)定和測(cè)量,還可通過(guò)鈕掃描功能進(jìn)行短暫測(cè)量和查尋設(shè)定一類似于曲線描圖儀。
顯示和分析測(cè)量和分析結(jié)果顯示在彩色的LCD上,可由4個(gè)圖形存貯器做存貯器做存貯,以便分析。比較。強(qiáng)有力的分析手段,使得很容易對(duì)諸如hFE,Vth等多種參數(shù)進(jìn)行抽取。
一旦查得參數(shù)抽取條件,則可通過(guò)-自動(dòng)分析功能自動(dòng)地取得。
輸出和存貯
設(shè)定、測(cè)量,分析數(shù)據(jù)均可由GPIB,燕行或網(wǎng)絡(luò)接口10Base-T LAN輸出至彩色繪圖儀和打印機(jī),也可通過(guò)網(wǎng)絡(luò)或3.5寸盤存貯在MS-DOS或LIF格式文件中。Graphic (Agilent-GL,PCL功TIF)輸出文件還允許將圖形轉(zhuǎn)換為桌面出版軟件。
重復(fù)和自動(dòng)測(cè)試
Agilent 4155B的 Agilent儀器BASIC控制器,可在無(wú)控制器的外部?jī)x器構(gòu)成自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)。4155B可通過(guò)多用觸發(fā)I/O功能與外部?jī)x器相同步。