螺桿干式真空泵是通過(guò)泵腔內(nèi)一對(duì)作等速反向旋轉(zhuǎn)螺桿的嚙合作用，完成從吸入氣體、壓縮氣體到排出氣體而形成高真空過(guò)程。即兩個(gè)旋向相反的非接觸螺桿型轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)做等速反向旋轉(zhuǎn)。當(dāng)螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí)，在螺桿真空泵的進(jìn)口處吸入一定體積量的氣體，氣體被壓縮并輸送到真空泵的排出口處被排出。由于泵的二個(gè)螺桿之間以及螺桿與泵腔之間均無(wú)接觸，泵腔內(nèi)不需要潤(rùn)滑油。用于潤(rùn)滑齒輪和軸封的潤(rùn)滑油通過(guò)軸封與泵腔密封。泵的冷卻可以通過(guò)循環(huán)冷卻水直接冷卻或者通過(guò)帶有風(fēng)扇及散熱器的冷卻裝置進(jìn)行冷卻。
螺桿轉(zhuǎn)子采用多段變螺距結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，極限真空可達(dá)1Pa以下，可以滿足從大氣到高真空的各類真空處理
- 1.螺桿轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度球墨鑄鐵一體鑄造并采用進(jìn)口五軸聯(lián)動(dòng)設(shè)備加工，具有很高的機(jī)械精度和穩(wěn)定的機(jī)械性能。
- 2.抽氣腔采用無(wú)油結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)并設(shè)置了氣鎮(zhèn)裝置，可以抽除一般性氣體、可凝性氣體、腐蝕性氣體和含有粉塵的氣體。
- 3.采用波紋管機(jī)械密封與進(jìn)口PTFE唇封及低壓氮?dú)饷芊饨M合密封，可提高真空泵的密封性能，延長(zhǎng)真空泵的使用壽命。
- 4.優(yōu)化了內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和排氣道布局，可以進(jìn)一步減少排氣阻力，提高真空泵對(duì)可凝性物質(zhì)的處理能力。
- 5.整體水冷結(jié)構(gòu)布局，降低泵的整體溫升，提高真空泵長(zhǎng)期可靠運(yùn)行能力，滿足各種工況條件使用。
- 6.過(guò)流部件進(jìn)行表面防腐處理，采用多種不同的耐腐涂層處理，適應(yīng)各類特殊工藝流程。
- 7.與其它機(jī)械真空泵比較，可以達(dá)到30%~35%以上的節(jié)能效果。并且可以和羅茨真空泵組合使用，節(jié)能效果更加明顯。
- （1）工業(yè)爐/熱處理（表面硬化，淬火，燒結(jié)，滲碳，熔煉等）
- （2）化工、制藥
- （3）鍍膜
- （4）冶金
- （5）檢漏
- （6）包裝印刷。
- （7）干燥工藝
- （8）尾氣回收
- （9）鋰電池
- （10）太陽(yáng)能
- （11）電力行業(yè)
- （12）微電子行業(yè)
- （13）風(fēng)動(dòng)試驗(yàn)
變螺距螺桿真空泵規(guī)格參數(shù)
注意 ：
表中提供的螺桿干式真空泵的冷卻水量是使用20℃常溫水的量。當(dāng)螺桿干式真空泵使用后置冷卻裝置時(shí)冷卻水量會(huì)有所增加，進(jìn)出水溫度差一般控制在7℃以下為宜。
