這個晶圓光學(xué)檢測系統(tǒng)具有人工智能的自動檢查功能。*的圖像處理AOI系統(tǒng)可提供可定制性和靈活性,以及可靠,高度可重復(fù)的結(jié)果??梢詫I增強(qiáng)的軟件nTelligence進(jìn)行培訓(xùn),以使用nSpec®上的稀疏數(shù)據(jù)檢測缺陷。一旦經(jīng)過訓(xùn)練,就可以將算法導(dǎo)入到生產(chǎn)工具中,并且用戶可以開始自動對感興趣的缺陷和特征進(jìn)行分類。該系統(tǒng)生成晶片上檢測到的所有缺陷的缺陷圖報(bào)告。
無論用戶對樣品檢驗(yàn)有什么具體要求,我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結(jié)果。
nSpec®CPS 300mm自動光學(xué)檢測系統(tǒng)是高度受控的潔凈室環(huán)境的理想系統(tǒng)。該系統(tǒng)可按順序運(yùn)行多個掃描程序。用戶友好的軟件使配置配方變得毫不費(fèi)力。而且,隨著需求的發(fā)展,配方非常易于保存和修改。
1. 這種300毫米尺寸的設(shè)備支持:
- HEPA空氣過濾
- 空氣離子發(fā)生器
- 自動加載端口
- 晶圓自動處理
- 可設(shè)置多種分辨率,范圍從0.25 µm到更高
- 快速掃描功能
- 可定制的缺陷報(bào)告
- 可設(shè)置單個圖像捕獲和掃描
- 提供各種樣品夾頭,可滿足特定需求
- 對缺陷或感興趣特征進(jìn)行檢測和分類的魯棒分析
- 擁有檢查和審查程序
- 能夠多系統(tǒng)同步
- 占地面積小,設(shè)施要求蕞少
- 利用機(jī)架安裝控件
- 帶有門聯(lián)鎖
- 重量:540公斤
- 尺寸(寬x深x高):158cm x 173cm x 202cm
- 蕞小真空要求:24英寸汞柱(70 kPa)
- 電源:110v / 220v,30安培
- 照明模式:明場,暗場,DIC(Nomarski)
- 光源:白光LED(可用其他選項(xiàng))
- 物鏡倍數(shù):2.5、5、10、20或50x,用戶可選
- 行程:典型值為350 mm(X和Y方向)
- 定位:使用閉環(huán)編碼器,線性伺服電機(jī)(步進(jìn)為50 nm)
- 重復(fù)性:+/- 0.5 µm
- 行程平整度:20 µm
- 結(jié)構(gòu):施工精密地面滾道和高剛性直線導(dǎo)軌
- 支撐平臺:集成到隔離平臺中
- 帶有櫥柜系統(tǒng)
- 中心負(fù)荷能力:5公斤
- 可根據(jù)要求提供AFM
- SECS / GEM OCR
- 空氣電離儀