SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴
另有160度，200度可選：
SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴
SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴
INFICON SKY CDG100D 壓力計是實現(xiàn)**總壓測量與控制的理想之選。 CDG100D 真空計溫度控制在 100 °C，具有**的性能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。 在 100 毫托至 1000 托滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。 INFICON CDG 品質(zhì)**，**成本效益，適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。
益處
- 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
- 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個設(shè)定點
- 輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點偏移
- 診斷端口用于快速維修和維護
- 兩年保修服務(wù)，*的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
- **的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是*苛刻的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
- 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應(yīng)用
- 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過程
- 化學(xué)和腐蝕性高溫過程
- 需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
新聞
配備 EtherCAT 數(shù)字接口現(xiàn)在可用！
