SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴
另有160度,200度可選:
SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴
SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴
INFICON SKY CDG100D 壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)**總壓測(cè)量與控制的理想之選。 CDG100D 真空計(jì)溫度控制在 100 °C,具有**的性能,適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過(guò)程。 在 100 毫托至 1000 托滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)總線接口,能夠提供 0 至 10V、不受氣體類型限制的線性壓力信號(hào)。 INFICON 電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號(hào)穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時(shí)間短和使用壽命長(zhǎng)等諸多優(yōu)勢(shì)。 INFICON CDG 品質(zhì)**,**成本效益,適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。
益處
- 擁有成本更低,預(yù)熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗
- 易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
- 輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號(hào)調(diào)零指令,可調(diào)零點(diǎn)偏移
- 診斷端口用于快速維修和維護(hù)
- 兩年保修服務(wù),*的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命
- **的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性,即使是*苛刻的等離子應(yīng)用,都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
- 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn): CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應(yīng)用
- 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過(guò)程
- 化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程
- 需要真空計(jì)保護(hù)的一般薄膜和真空過(guò)程
新聞
配備 EtherCAT 數(shù)字接口現(xiàn)在可用!