1. 產品簡介
PhaseCam 6110高分辨率類型激光干涉儀是PhaseCam6000系列激光干涉儀的另一種型號,有助于提高大孔徑光學元件表面測量的分辨率,適用于數(shù)字處理和高分辨率系統(tǒng)調整。
PhaseCam 6110干涉儀采用分離光源和干涉儀的設計,主體尺寸小。它還配備了特殊的調節(jié)架,易于安裝和定位,并且便于進行五維調節(jié),是測量焦距準直儀,低溫光學真空實驗等的理想儀器。PhaseCam 6110略大于PhaseCam 6010,并且具有更好的可維護性。
2. 基本屬性
系統(tǒng)描述:對振動不敏感的Tiemann Green型動態(tài)相移激光干涉儀
采集方式:瞬時相移型帶相位相關檢測器
核芯技術:相移干擾技術(PSI)
光源:穩(wěn)定頻率HeNe@632.8nm;可選波長1550nm
相干長度:> 100m
光束直徑:7mm
極化:圓極化
相機像素:2000×2000像素,12位
尺寸:測量頭:<38.9 x 15.7 x 9.1厘米
激光:48.3 x 20.3 x 11.9厘米
采集速率:> 10幀/秒(實時顯示)
> 15幀/秒(后處理)
zui小曝光時間:35微秒
樣品反射率:1-100%(無衰減)
RMS重復性:<0.001wave *
RMS精度:<0.002wave **
* 10個數(shù)據(jù)的RMS值的1σ方差用作結果;每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均值
**使用10個數(shù)據(jù),每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均值;這10個數(shù)據(jù)的平均值用作參考值;每個數(shù)據(jù)與參考值之間的差用于計算RMS平均值作為結果
4. 配置選項
擴束鏡:Φ50mm,Φ100mm,Φ300mm
球面擴束鏡:F / 1至F / 32;可以定制
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