SQC-310(C) 薄膜沉積控制器
高精度連續(xù)鍍膜控制或共鍍膜控制—來(lái)自技術(shù)*者
具有*的電子學(xué),改進(jìn)的顯示器,和非常高的性價(jià)比,INFICONSQC310系列為您提供其它生產(chǎn)廠薄膜控制儀所沒(méi)有的性能與特色,同時(shí)可為您的應(yīng)用選擇理想的模式:順序鍍膜(SQC310)或并行鍍膜(SQC310C)。用于順序鍍膜,SQC310裝備有2個(gè)傳感器輸入,2個(gè)源輸出,和8個(gè)數(shù)字輸入/輸出,提供為這些數(shù)量加倍的擴(kuò)展插件板選件。 用于并行鍍膜,SQC310C控制儀監(jiān)測(cè)多至4個(gè)石英晶體傳感器,帶有4個(gè)PID控制輸出,16個(gè)數(shù)字輸入和16個(gè)繼電器輸出,,與SQC310 的規(guī)范相同。
性支持: 我們的專長(zhǎng)是您的競(jìng)爭(zhēng)*性 INFICON 的辦事處遍布, 是可提供您就地服務(wù)和性技術(shù)支持 — 包括提供 SQC310 系列的全部附件,如傳感器, 饋入件和輔件的薄膜鍍層控制儀制造商。訂購(gòu) SQC310 系列儀器 — 或任何其它 INFICON 產(chǎn)品 — 不管您在何處, 您將得到迅速的答復(fù),親臨現(xiàn)場(chǎng)的服務(wù)和*大的設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間。
特點(diǎn)
■ 高亮度,?VGA活性點(diǎn)陣彩色LCD顯示器–可顯示英文或中文. ■ 標(biāo)準(zhǔn)RS-232和USB(有以太網(wǎng)選件). ■ 易設(shè)置和操作,有“快速設(shè)置” 菜單,6個(gè)上下文-敏感的按鈕,和方便的參數(shù)設(shè)定旋鈕.
■ Windows® 程序用于開(kāi)發(fā),測(cè)試,和下載工藝過(guò)程, 和將儀器數(shù)據(jù)記錄至您的PC上, 用于過(guò)程分析與質(zhì)量控制. ■ 準(zhǔn)確的過(guò)程控制,尤其用于低淀積率,在10 讀值/秒時(shí)的分辨率為±0.03Hz,在0至50°C溫度范圍內(nèi)的頻率穩(wěn)定性為±2ppm. ■ 貯存容量高至100個(gè)工藝過(guò)程,1,000個(gè)膜層,50 個(gè)膜系. ■ 用單傳感器或多傳感器監(jiān)測(cè)源材料, 提供準(zhǔn)確的源分布監(jiān)測(cè).