系統(tǒng)依據(jù)的相關標準:
企業(yè)產品質量 電子工業(yè)用氣休 溴化氫
GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質的檢測。該產品以GC-126氣相色譜儀為載體,配備VALCO公司生產的氦離子化(PDHID)檢測器;采用克柔姆公司擁有專業(yè)技術的四閥五柱的中心切割與反吹技術,其中的所有進樣和切換閥均為VALCO公司生產的帶吹掃保護氣路的六通或十通閥;上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析解決方案。
高純氣體的分析是一個復雜的過程,不僅需要高靈敏的檢測器,還要考慮樣品本身的特性及其背景,如吸附、取樣及分析過程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié),克柔姆色譜公司總結了高純氣體分析過程中的技術難點,并給出了所有難點的解決措施,使GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀成為工業(yè)氣體行業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng),很好的完成了氣體中微量雜質,特別是ppb級的雜質的分析。
進樣與反吹系統(tǒng): 吹掃十通閥2只; 吹掃六通閥3只;
閥體選:采用VICI 316L不銹鋼材質; 氣路管線: 1/16或1/8采用VICI 316L材質
本儀器主要應用于氣體中微量雜質的分析靈敏度檢測限,具體內容詳見下表:
氣體種類 | 需分析的雜質種類 | |||||||
He | H2 | O2+Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | / | / |
儀器的最小 檢測限(PPb) | 15 | 10 | 10 | 10 | 25 | 10 | / | / |
氣體種類 | 需分析HBr的雜質種類 | |||||||
He | HCL | Br | / |
|
|
|
|
|
儀器的最小 檢測限(PPb) | 50 | 50 | / |
|
|
|
|
|