產(chǎn)品詳情
1:一側(cè)GB測(cè)角儀能測(cè)晶圓片;能測(cè)Φ4---Φ6英寸, 長(zhǎng)400mm晶棒端面,如硅:(111)藍(lán)寶石C、R面等其它晶體的角度。
2:另一側(cè)GF測(cè)角儀配置一個(gè)高度可調(diào)籽晶測(cè)試架,測(cè)Φ5—20mm圓或方型,長(zhǎng)150mm籽晶端面, 如硅:(111)藍(lán)寶石C 面等其它晶體的角度。
X 射 線(xiàn) 管 | 銅靶,陽(yáng)極接地,強(qiáng)迫風(fēng)冷 |
管 電 壓 | 30KVP,全壓合閘 |
管 電 流 | 0-5mA,連續(xù)可調(diào) |
整 機(jī) 功 率 | 交流220V 不大于0.3KW |
綜 合 精 度 | ±30″ |
蝸輪運(yùn)動(dòng)誤差 | 不大于30″ |
角度數(shù)字顯示 | 以度、分、秒顯示,最小讀數(shù)10″ |
計(jì)數(shù)器旋轉(zhuǎn)角度 | 2θ角-10° ~ +110° |
晶體旋轉(zhuǎn)角度 | θ角-10° ~ +55° |
計(jì) 數(shù) 管 | 蓋革計(jì)數(shù)管,工作電壓500 ~1100V |
時(shí) 間 常 數(shù) | 分0.1、0.4、3秒三檔可調(diào) |
保 護(hù) | 高壓連鎖保護(hù),溫度保護(hù) |
狹 縫 | 4′、5′、6′ |
測(cè) 量 方 式 | 手動(dòng)測(cè)量 |
可測(cè)籽晶直徑 | Φ5-20mm,長(zhǎng)150mm方或圓籽晶 |
工 作 位 | 雙測(cè)角儀、雙工作位 |
外 型 尺 寸 | 長(zhǎng)1140mm×寬650mm×高1250mm |
儀 器 重 量 | 200kg |
X射線(xiàn)晶體定向儀JZ-YX3技術(shù)指標(biāo)
X射 線(xiàn) 管 | 銅靶,陽(yáng)極接地,強(qiáng)迫風(fēng)冷 |
管 電 壓 | 30KVP,全壓合閘 |
管 電 流 | 0-5mA,連續(xù)可調(diào) |
整 機(jī)功 率 | 交流220V 不大于0.3KW |
綜 合 精 度 | ±30″ |
蝸輪運(yùn)動(dòng)誤差 | 不大于30″ |
角度數(shù)字顯示 | 以度、分、秒顯示,最小讀數(shù)10″ |
計(jì)數(shù)器旋轉(zhuǎn)角度 | 2θ角:-10°------ +110° |
樣品晶體旋轉(zhuǎn)角度 | 1θ角:-10°------ +55° |
計(jì) 數(shù) 管 | 蓋革計(jì)數(shù)管,工作電壓500-----1100V |
時(shí) 間常 數(shù) | 分0.1、0.4、3秒三檔可調(diào) |
保 護(hù) | 高壓連鎖保護(hù),溫度保護(hù) |
狹 縫 | 4′、5′、6′ |
可測(cè)晶體重量 | 最重30kg的晶棒 |
可測(cè)晶體直徑 | Φ4-----Φ12英寸晶圓片 |
可測(cè)晶棒長(zhǎng)度 | 180毫米長(zhǎng)晶棒 |
工 作 位 | 雙測(cè)角儀、雙工作臺(tái) |
(適用晶棒掏籽晶定向、籽晶定向)
1、一側(cè)配鉆籽晶專(zhuān)用夾具,對(duì)晶棒端面進(jìn)行定向硅(111,100)藍(lán)寶石C、
等,能測(cè)Φ4---12英寸,長(zhǎng)180mm晶棒;
測(cè)試好:拿下夾具,然后在切割機(jī)或籽晶鉆床等機(jī)床上加工圓籽晶。
夾具直徑100~260毫米(可選)
2、另一側(cè)對(duì)上述切割好的籽晶條端面進(jìn)行定向;
設(shè) 備 報(bào) 價(jià)
兩臺(tái)設(shè)備的市場(chǎng)價(jià)格:
JZ-2D6A型 市場(chǎng)報(bào)價(jià)為:68000
JZ-YX3型 市場(chǎng)報(bào)價(jià)為:66000
注:上述設(shè)備均含與安裝調(diào)試費(fèi),貨期一周
聯(lián)系電話(huà):