一、產(chǎn)品概述
氣體流量計(Mass Flow Meter縮寫為M FM)和氣體流量控制器(Mass Flow Controler縮寫為MFC)用于對微小氣體的流量進行精密測量和控制。是結(jié)合微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片技術(shù)和計算機自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年,開發(fā)出的智能化全電子式氣體流量儀表。主要技術(shù)性能處于水平,具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點:針對工業(yè)環(huán)境,融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計:且具有多種信號輸出,能通過通訊接口實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能:本產(chǎn)品在性能、安裝、維護方面也具有其的*性?？蓮V泛應(yīng)用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領(lǐng)域。
典型特點如下:
■采用微機電系 統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù),傳感器的尺寸縮小到了微米量級,使該流量計的靈敏度大大提高。
■在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使該流量計的量程比(范圍度)大大提高。
■傳感器零點穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計有極大的改善。
■結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù),使流量計重復(fù)性好,實現(xiàn)了計量準(zhǔn)確可靠。
■技術(shù)進步帶來的結(jié)構(gòu)簡化,使流量計較之傳統(tǒng)的機械式儀表,壓力損失大幅度減小,極大地降低了能源消耗。
■微功耗設(shè)計 ,采用LCD顯示瞬時流量和累計流量,清晰直觀,讀數(shù)方便。
■產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計技術(shù),具有更高抗力。.
■流量計帶有RS485通訊模塊,配合上位計算機網(wǎng)絡(luò)可實現(xiàn)集中管理。
二、典型應(yīng)用
氣體流量計/流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。它在多個領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它各種類型的分析儀器。
三、測量原理
微機電系統(tǒng)(MEMS)芯片傳感技術(shù),是在硅芯片上集成了具有機械和電子特征的微米級傳感器。它并不是簡單地將機械和電子功能微縮在芯片上,而是采用了現(xiàn)代材料制作技術(shù)與大規(guī)模集成電路技術(shù)相結(jié)合獲得新的機電特性。微機電系統(tǒng)芯片可獲得某些宏觀機電器件所不能達到的功效。同時采用了多傳感器和微熱源技術(shù)，使其具備了優(yōu)良的穩(wěn)定性、響應(yīng)時間短和超大量程等特點。OPEC-MFM系列氣體質(zhì)量流呈計主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號處理模塊、A/D轉(zhuǎn)換模塊、EEPROM存儲器、RTC實時時鐘模塊以及顯示模塊組成。見右圖(圖1)。
OPEC- MFC由流量傳感器、分流器通道、流量控制電磁調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。
OPEC-MFC利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布。
該產(chǎn)品利用流體流動傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)效應(yīng)而制成,采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,可以在一定范圍不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量檢測信號進行放大。然后與設(shè)定的流量電壓信號進行比較,用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通，道的實際流量使之與設(shè)定的流量期望值相等。分流器在主通道和毛細管間產(chǎn)生穩(wěn)定的層流狀態(tài),用以調(diào)整
四、產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)及選型
產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)
五、選型表
五、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)尺寸及安裝
1、結(jié)構(gòu)尺寸
2、產(chǎn)品安裝
本產(chǎn)品推薦為水平安裝.基座上的箭頭標(biāo)記方向為介質(zhì)流向.介質(zhì)進出端口連接必須正確,進口需裝高效過濾器。
安裝步驟如下:
(1)取出流量計后檢查其外表,確定無損傷;
(2)連接并清潔管道;
(3)將流量計安裝到管道上,并注意如下事項;
①為了保證流量計的計量準(zhǔn)確性,安裝時要先連接流量計的上游端，上游直管段應(yīng)滿足10DN的更低要求,下游直管段應(yīng)滿足5DN的更低要求。
②流量計安裝時不能有任何密封物質(zhì)滲入管道內(nèi)。
(4)連接電源電纜線,需要注意接線時的極性,確保輸入的直流電壓在(5~ 12)VDC ;
(5)如需要連接信號線,應(yīng)保障信號線與相應(yīng)用戶界面端連接無誤;
(6)接通電源.液晶屏顯示正確;
(7)開啟管道上下游的閥門, 流量計開始計量管道中的氣體流量
