產(chǎn)品簡介
QT-600型氦離子化SF6分解產(chǎn)物檢測儀，是我公司專為開關(guān)室SF6氣體組分分析而設(shè)計(jì)的，用以檢測SF6氣體各組分的含量以及SF6純度。
該設(shè)備采用氦離子檢測器，適用于高純化氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。儀器配備Valco公司生產(chǎn)的高靈敏度氦離子化（PDHID）檢測器；采用中心切割與反吹技術(shù)；進(jìn)樣閥采用的帶吹掃保護(hù)氣路的Valco六通或十通閥，以QT-600型氦離子化SF6分解產(chǎn)物檢測儀為載體，連同Valco公司的HP2-220氦氣純化器、專用氣體取樣閥等部件形成一套完整的高純氣體分析設(shè)備。
產(chǎn)品特點(diǎn)
采用氦離子化檢測器（PDHID），靈敏度高，可靠性好；
采用Valco公司HP2-220氦氣純化器；
專用分析色譜柱，針對性強(qiáng)，效果穩(wěn)定可靠；
中心切割與反吹技術(shù)系統(tǒng)；
多柱箱溫控分析系統(tǒng)；
一鍵采樣控制，操作簡單方便；
氦氣（載氣）專用不銹鋼雙級減壓閥；
專用工作站軟件系統(tǒng)，智能化程度高，易學(xué)易用。
檢測范圍
氦離子化檢測器（PDHID）
氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)行業(yè)，高純氣體和電子工業(yè)氣體被譽(yù)為工業(yè)生產(chǎn)的“血液”。隨著國民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，特別是國內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展，市場對高純氣體和電子工業(yè)用氣體的需求量也快速增長。
對微量雜質(zhì)進(jìn)行準(zhǔn)確的分析是生產(chǎn)上述氣體的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，而微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn)，傳統(tǒng)的熱導(dǎo)檢測器由于靈敏度有限，很難檢測到5ppm以下的雜質(zhì)。而氧化鋯、火焰光度、電子捕獲等檢測器均為選擇性檢測器，僅對少數(shù)幾種雜質(zhì)有響應(yīng)；氬離子檢測器也只能檢測氬氣中雜質(zhì)組份；以上檢測器都不是高純氣體的。
脈沖放電氦離子化檢測器（PDHID）是一種靈敏度的通用型檢測器，對幾乎所有無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng)，特別適合高純氣體的微量雜質(zhì)分析，是能夠檢測至ng/g(ppb)級的檢測器。大多數(shù)新制定的氣體產(chǎn)品的國家標(biāo)準(zhǔn)中都規(guī)定采用氦離子化檢測器代替原有的熱導(dǎo)檢測器，從而提高氣體的微量雜質(zhì)分析能力。
技術(shù)參數(shù)
